Tartalomjegyzék
1. A FOUP áttekintése és főbb funkciói
2.A FOUP szerkezeti és tervezési jellemzői
3. A FOUP osztályozása és alkalmazási irányelvei
4. A FOUP működése és jelentősége a félvezetőgyártásban
5.Műszaki kihívások és jövőbeli fejlesztési trendek
6. Az XKH testreszabott megoldásai és szerviztámogatása
A félvezetőgyártási folyamatban az elülső nyílású, egységesített doboz (FOUP) egy kritikus fontosságú tartály, amelyet a waferek védelmére, szállítására és tárolására használnak. Belseje 25 darab 300 mm-es wafer befogadására alkalmas, fő alkotóelemei pedig egy elölről nyíló tartály és egy külön ajtókeret a nyitáshoz és záráshoz. A FOUP egy maghordozó a 12 hüvelykes wafergyárak automatizált szállítórendszerében. Általában zárt állapotban szállítják, és csak akkor nyílik ki, amikor a berendezés betöltőnyílásához tolják, lehetővé téve a waferek áthelyezését a berendezés betöltő-/kirakodónyílásába.
A FOUP kialakítása a mikrokörnyezeti követelményekhez igazodott. Hátulján nyílások találhatók az ostyák behelyezéséhez, a fedél pedig kifejezetten a nyitó szorítójához van tervezve. Az ostyakezelő robotok 1. osztályú tiszta levegőjű környezetben működnek, biztosítva, hogy az ostyák ne szennyeződjenek be az átvitel során. Ezenkívül a FOUP-ot egy automatizált anyagmozgató rendszer (AMHS) mozgatja a folyamateszközök között. A modern ostyagyárak többnyire felsővezetékes vasúti rendszereket használnak a szállításhoz, míg néhány régebbi gyár földi alapú, automatizált vezetésű járműveket (AGV) is használhat.
A FOUP nemcsak az automatizált ostyaátvitelt teszi lehetővé, hanem tárolási funkciót is ellát. A számos gyártási lépés miatt a ostyák teljes folyamata hónapokig is eltarthat. A magas havi termelési volumennel kombinálva ez azt jelenti, hogy egy gyáron belül több tízezer ostya van folyamatosan szállítás vagy ideiglenes tárolás alatt bármikor. Tárolás közben a FOUP-okat rendszeresen nitrogénnel tisztítják, hogy megakadályozzák a szennyeződések érintkezését az ostyákkal, biztosítva a tiszta és megbízható gyártási folyamatot.
1. A FOUP funkciói és jelentősége
A FOUP fő funkciója a szeletek védelme a külső ütésektől és szennyeződésektől, különösen az átvitel során a hozamra gyakorolt hatások elkerülése érdekében. Hatékonyan megakadályozza a nedvesség bejutását olyan módszerekkel, mint a gáztisztítás és a helyi légkör szabályozása (LAC), biztosítva, hogy a szeletek biztonságos állapotban maradjanak a következő gyártási lépésig. Zárt és szabályozott rendszere csak a szükséges vegyületek és elemek bejutását engedi be, jelentősen csökkentve az illékony szerves vegyületek, az oxigén és a nedvesség káros hatásait a szeletekre.
Mivel egy 25 ostyával teljesen megrakott FOUP akár 9 kilogrammot is nyomhat, szállításához automatizált anyagmozgató rendszerre (AMHS) kell támaszkodni. Ennek megkönnyítése érdekében a FOUP-ot különféle csatlakozólemezek, csapok és furatok kombinációival tervezték, és RFID elektronikus címkékkel van felszerelve a könnyű azonosítás és osztályozás érdekében. Ez az automatizált kezelés szinte semmilyen kézi műveletet nem igényel, ami jelentősen csökkenti a hibaszázalékot, és növeli a gyártási folyamat biztonságát és pontosságát.
2. A FOUP szerkezete és osztályozása
Egy FOUP tipikus méretei körülbelül 420 mm szélesség, 335 mm mélység és 335 mm magasság. Fő szerkezeti elemei a következők: egy felső gomba alakú fedél (OHT) a felső emelővel történő szállításhoz; egy elülső ajtó a berendezések lapkáinak eléréséhez; oldalsó fogantyúk, amelyek gyakran színkódoltak a különböző szennyezettségi szintű folyamatterületek megkülönböztetésére; egy kártyaterület az üzenetkártyák elhelyezéséhez; és egy alsó RFID-címke, amely a FOUP egyedi azonosítójaként szolgál, lehetővé téve a szerszámok és a felső emelők számára a felismerését. Az alap négy azonosító és pozicionáló lyukkal is rendelkezik a szerszámokkal való illesztéshez és a folyamatterületek megkülönböztetéséhez.
Használat alapján a FOUP-ok három típusba sorolhatók: PRD (gyártáshoz), ENG (mérnöki lapkákhoz) és MON (monitor lapkákhoz). A PRD FOUP-ok termékgyártáshoz használhatók, az ENG típusok K+F-hez vagy kísérletekhez alkalmasak, míg a MON típusok a folyamatok monitorozására szolgálnak olyan lépésekhez, mint a CMP és a DIFF. Fontos megjegyezni, hogy a PRD FOUP-ok mind ENG, mind MON célokra használhatók, az ENG típusok pedig MON-hoz is használhatók, de a fordított művelet minőségi kockázatot jelent.
A szennyezettségi szint alapján a FOUP-ok feloszthatók FE FOUP-ra (front-end folyamat, fémmentes), BE FOUP-ra (back-end folyamat, fémet tartalmaz), valamint speciális fémfeldolgozási folyamatokra, mint például NI FOUP, CU FOUP és CO FOUP. A különböző folyamatokhoz tartozó FOUP-okat jellemzően az oldalsó fogantyúk vagy ajtópanelek színe különbözteti meg. Az elülső folyamatokból származó FOUP-ok használhatók a hátsó folyamatokban, de a hátsó FOUP-okat soha nem szabad elülső folyamatokban használni, mivel ez szennyeződési kockázatot jelentene.
A félvezetőgyártás kulcsfontosságú hordozójaként a FOUP a magas szintű automatizálás és a szigorú szennyeződés-ellenőrzés révén biztosítja a waferek biztonságát és tisztaságát a gyártási folyamat során, így nélkülözhetetlen infrastruktúrává válik a modern wafergyárakban.
Következtetés
Az XKH elkötelezett amellett, hogy ügyfelei számára nagymértékben testreszabott, elölről nyíló, egységesített doboz (FOUP) megoldásokat kínáljon, szigorúan betartva az Önök konkrét folyamatkövetelményeit és berendezés-interfész specifikációit. Fejlett anyagtechnológiát és precíziós gyártási folyamatokat alkalmazva biztosítjuk, hogy minden FOUP termék kivételes légmentességet, tisztaságot és mechanikai stabilitást nyújtson. Műszaki csapatunk mélyreható iparági szakértelemmel rendelkezik, és átfogó életciklus-támogatást nyújt – a kiválasztási tanácsadástól és a szerkezeti optimalizálástól a tisztításig és karbantartásig –, biztosítva a FOUP és az Ön automatizált anyagmozgató rendszere (AMHS), valamint a feldolgozóberendezések közötti zökkenőmentes integrációt és hatékony együttműködést. Fő célkitűzésként következetesen a waferek biztonságát és a termelési hozam növelését helyezzük előtérbe. Innovatív termékeken és átfogó műszaki szolgáltatásokon keresztül robusztus garanciát nyújtunk félvezető-gyártási folyamataira, végső soron növelve a termelési hatékonyságot és a termékhozamot.
Közzététel ideje: 2025. szeptember 8.