12 hüvelykes, teljesen automatikus, precíziós szeletelő fűrészberendezés, Si/SiC és HBM (Al) szeletekre specializált vágórendszer

Rövid leírás:

A teljesen automatikus precíziós kockázóberendezés egy nagy pontosságú vágórendszer, amelyet kifejezetten a félvezető- és elektronikai alkatrészgyártó ipar számára fejlesztettek ki. Fejlett mozgásvezérlési technológiát és intelligens vizuális pozicionálást tartalmaz a mikron szintű feldolgozási pontosság elérése érdekében. Ez a berendezés alkalmas különféle kemény és rideg anyagok precíziós kockázására, beleértve a következőket:
1. Félvezető anyagok: Szilícium (Si), szilícium-karbid (SiC), gallium-arzenid (GaAs), lítium-tantalát/lítium-niobát (LT/LN) szubsztrátok stb.
2. Csomagolóanyagok: Kerámia aljzatok, QFN/DFN keretek, BGA csomagoló aljzatok.
3. Funkcionális eszközök: Felületi akusztikus hullám (SAW) szűrők, termoelektromos hűtőmodulok, WLCSP ostyák.

Az XKH anyagkompatibilitási tesztelést és folyamat-testreszabási szolgáltatásokat kínál annak érdekében, hogy a berendezések tökéletesen megfeleljenek az ügyfelek termelési igényeinek, optimális megoldásokat kínálva mind a K+F minták, mind a kötegelt feldolgozás számára.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Műszaki paraméterek

Paraméter	Specifikáció
Munkaméret	Φ8", Φ12"
Orsó	Kéttengelyes 1.2/1.8/2.4/3.0, Max. 60000 fordulat/perc
Penge mérete	2" ~ 3"
Y1 / Y2 tengely	Lépésenkénti növekmény: 0,0001 mm
	Pozicionálási pontosság: < 0,002 mm
	Vágási tartomány: 310 mm
X tengely	Előtolási sebességtartomány: 0,1–600 mm/s
Z1 / Z2 tengely	Lépésenkénti növekmény: 0,0001 mm
Z1 / Z2 tengely	Pozicionálási pontosság: ≤ 0,001 mm
θ tengely	Pozicionálási pontosság: ±15"
Tisztítóállomás	Forgási sebesség: 100–3000 fordulat/perc
Tisztítóállomás	Tisztítási módszer: Automatikus öblítés és centrifugálás
Üzemi feszültség	3 fázisú 380V 50Hz
Méretek (Sz×M×M)	1550 × 1255 × 1880 mm
Súly	2100 kg

Működési elv

A berendezés a következő technológiáknak köszönhetően éri el a nagy pontosságú vágást:
1. Nagy merevségű orsórendszer: Akár 60 000 ford/perc forgási sebesség, gyémántlapokkal vagy lézervágó fejekkel felszerelve, hogy alkalmazkodjon a különböző anyagtulajdonságokhoz.

2. Többtengelyes mozgásvezérlés: ±1 μm X/Y/Z tengely pozicionálási pontosság, nagy pontosságú rácsskálákkal párosítva az eltérésmentes vágási útvonalak biztosítása érdekében.

3. Intelligens vizuális igazítás: A nagy felbontású CCD (5 megapixel) automatikusan felismeri a vágási utcákat, és kompenzálja az anyag vetemedését vagy elferdülését.

4. Hűtés és porelszívás: Integrált tisztavizes hűtőrendszer és vákuumos porelszívás a hőhatás és a részecskeszennyeződés minimalizálása érdekében.

Vágási módok

1. Pengevágás: Hagyományos félvezető anyagokhoz, például Si-hez és GaAs-hez alkalmas, 50–100 μm vágásszélességgel.

2. Lopakodó lézeres szeletelés: Ultravékony ostyákhoz (<100 μm) vagy törékeny anyagokhoz (pl. LT/LN) használják, lehetővé téve a feszültségmentes elválasztást.

Tipikus alkalmazások

Kompatibilis anyag	Alkalmazási terület	Feldolgozási követelmények
Szilícium (Si)	IC-k, MEMS érzékelők	Nagy pontosságú vágás, forgácsolás <10μm
Szilícium-karbid (SiC)	Teljesítményeszközök (MOSFET/diódák)	Kármentes vágás, hőkezelés optimalizálása
Gallium-arzenid (GaAs)	RF eszközök, optoelektronikai chipek	Mikrorepedések megelőzése, tisztaságszabályozás
LT/LN szubsztrátok	SAW szűrők, optikai modulátorok	Stresszmentes vágás, megőrzi a piezoelektromos tulajdonságokat
Kerámia aljzatok	Tápmodulok, LED-tokok	Nagy keménységű anyagmegmunkálás, élsimítás
QFN/DFN keretek	Fejlett csomagolás	Többforgácsos egyidejű vágás, hatékonyságoptimalizálás
WLCSP ostyák	Ostya szintű csomagolás	Ultravékony ostyák (50 μm) sérülésmentes kockázása

Előnyök

1. Nagysebességű kazettakeret-szkennelés ütközésmegelőző riasztásokkal, gyors átviteli pozicionálással és erős hibajavító képességgel.

2. Optimalizált kétorsós vágási mód, amely körülbelül 80%-kal javítja a hatékonyságot az egyorsós rendszerekhez képest.

3. Precíziósan importált golyósorsók, lineáris vezetők és Y-tengelyes rácsos skála zárt hurkú vezérlés, amely biztosítja a nagy pontosságú megmunkálás hosszú távú stabilitását.

4. Teljesen automatizált be-/kirakodás, átviteli pozicionálás, illesztési vágás és vágási résvizsgálat, ami jelentősen csökkenti a kezelő (OP) munkaterhelését.

5. Gantry stílusú orsórögzítő szerkezet, legalább 24 mm-es kétlapátos távolsággal, ami szélesebb körű alkalmazkodóképességet biztosít a kétorsós vágási folyamatokhoz.

Jellemzők

1. Nagy pontosságú érintésmentes magasságmérés.

2. Többlapos, kétlapos vágás egyetlen tálcán.

3. Automatikus kalibrálás, vágásvizsgálat és pengetörés-érzékelő rendszerek.

4. Különböző folyamatokat támogat választható automatikus igazítási algoritmusokkal.

5. Hiba önjavító funkció és valós idejű többpozíciós monitorozás.

6. Első vágás utáni ellenőrzési képesség a kezdeti kockázás után.

7. Testreszabható gyári automatizálási modulok és egyéb opcionális funkciók.

Kompatibilis anyagok

Berendezési szolgáltatások

Átfogó támogatást nyújtunk a berendezések kiválasztásától a hosszú távú karbantartásig:

(1) Testreszabott fejlesztés
· Anyagtulajdonságok (pl. SiC keménység, GaAs ridegség) alapján ajánljon penge-/lézervágási megoldásokat.

· Ingyenes mintavizsgálatot kínál a vágási minőség ellenőrzésére (beleértve a forgácsolást, a vágási szélességet, a felületi érdességet stb.).

(2) Műszaki képzés
· Alapképzés: Berendezések kezelése, paraméterek beállítása, rendszeres karbantartás.
· Haladó kurzusok: Komplex anyagok folyamatoptimalizálása (pl. LT szubsztrátok feszültségmentes vágása).

(3) Értékesítés utáni támogatás
· 24/7-es válaszadás: Távoli diagnosztika vagy helyszíni segítségnyújtás.
· Alkatrészellátás: Raktáron lévő orsók, pengék és optikai alkatrészek a gyors csere érdekében.
· Megelőző karbantartás: Rendszeres kalibrálás a pontosság fenntartása és az élettartam meghosszabbítása érdekében.

Előnyeink

✔ Iparági tapasztalat: Több mint 300 félvezető- és elektronikai gyártó kiszolgálása világszerte.
✔ Korszerű technológia: A precíziós lineáris vezetők és szervorendszerek iparágvezető stabilitást biztosítanak.
✔ Globális szervizhálózat: Helyi támogatás Ázsiában, Európában és Észak-Amerikában.
Tesztelésért vagy kérdés esetén, kérjük, vegye fel velünk a kapcsolatot!