Testreszabott GaN-on-SiC epitaxiális lapkák (100 mm, 150 mm) – többféle SiC szubsztrát opció (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Jellemzők
●Epitaxiális rétegvastagság: Testreszabható innen1,0 µmhogy3,5 µm, nagy teljesítményre és frekvenciateljesítményre optimalizálva.
●SiC szubsztrát opciók: Különféle SiC hordozókkal kapható, beleértve:
- 4H-N: Kiváló minőségű nitrogénnel adalékolt 4H-SiC nagyfrekvenciás, nagy teljesítményű alkalmazásokhoz.
- HPSI: Nagy tisztaságú félszigetelő SiC elektromos szigetelést igénylő alkalmazásokhoz.
- 4H/6H-P: Vegyes 4H és 6H-SiC a nagy hatékonyság és megbízhatóság egyensúlyáért.
● Ostya méretek: Elérhető:100 mmés150 mmátmérők a sokoldalúság érdekében az eszközök méretezésében és integrációjában.
● Magas leállási feszültség: A GaN on SiC technológia nagy áttörési feszültséget biztosít, ami robusztus teljesítményt tesz lehetővé nagy teljesítményű alkalmazásokban.
● Magas hővezető képesség: A SiC belső hővezető képessége (kb 490 W/m·K) kiváló hőelvezetést biztosít az energiaigényes alkalmazásokhoz.
Műszaki előírások
Paraméter | Érték |
Ostya átmérője | 100 mm, 150 mm |
Epitaxiális rétegvastagság | 1,0 µm – 3,5 µm (testreszabható) |
SiC szubsztrát típusok | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
SiC hővezetőképesség | 490 W/m·K |
SiC fajlagos ellenállás | 4H-N: 10^6 Ω·cm,HPSI: félig szigetelő,4H/6H-P: Vegyes 4H/6H |
GaN rétegvastagság | 1,0 µm – 2,0 µm |
GaN hordozókoncentráció | 10^18 cm^-3-10^19 cm^-3 (testreszabható) |
Wafer felületi minőség | RMS érdesség: < 1 nm |
Diszlokáció sűrűsége | < 1 x 10^6 cm^-2 |
Ostya íj | < 50 µm |
Ostya laposság | < 5 µm |
Maximális üzemi hőmérséklet | 400°C (jellemző a GaN-on-SiC eszközökre) |
Alkalmazások
● Teljesítményelektronika:A GaN-on-SiC lapkák nagy hatékonyságot és hőelvezetést biztosítanak, így ideálisak teljesítményerősítőkhöz, teljesítményátalakító eszközökhöz és elektromos járművekben, megújuló energiarendszerekben és ipari gépekben használt inverteres áramkörökhöz.
●RF teljesítményerősítők:A GaN és a SiC kombinációja tökéletes a nagyfrekvenciás, nagy teljesítményű RF alkalmazásokhoz, mint például a telekommunikáció, a műholdas kommunikáció és a radarrendszerek.
● Repülés és védelem:Ezek a lapkák alkalmasak az űrrepülési és védelmi technológiákhoz, amelyek nagy teljesítményű teljesítményelektronikát és kommunikációs rendszereket igényelnek, amelyek zord körülmények között is működhetnek.
● Autóipari alkalmazások:Ideális elektromos járművek (EV), hibrid járművek (HEV) és töltőállomások nagy teljesítményű áramellátó rendszereihez, lehetővé téve az energia hatékony átalakítását és szabályozását.
● Katonai és radarrendszerek:A GaN-on-SiC lapkákat a radarrendszerekben használják nagy hatékonyságuk, energiakezelési képességeik és hőteljesítményük miatt az igényes környezetben.
● Mikrohullámú és milliméterhullámú alkalmazások:A következő generációs kommunikációs rendszerek esetében, beleértve az 5G-t is, a GaN-on-SiC optimális teljesítményt biztosít nagy teljesítményű mikrohullámú és milliméteres hullámtartományban.
Kérdések és válaszok
1. kérdés: Milyen előnyökkel jár a SiC GaN szubsztrátjaként való használata?
A1:A szilícium-karbid (SiC) kiváló hővezető képességet, nagy áttörési feszültséget és mechanikai szilárdságot kínál a hagyományos hordozókhoz, például a szilíciumhoz képest. Emiatt a GaN-on-SiC lapkák ideálisak nagy teljesítményű, nagyfrekvenciás és magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz. A SiC hordozó segít elvezetni a GaN eszközök által termelt hőt, javítva a megbízhatóságot és a teljesítményt.
2. kérdés: Testreszabható az epitaxiális rétegvastagság bizonyos alkalmazásokhoz?
A2:Igen, az epitaxiális rétegvastagság egy tartományon belül testreszabható1,0 µm és 3,5 µm között, az alkalmazás teljesítmény- és frekvenciakövetelményeitől függően. Testreszabhatjuk a GaN rétegvastagságot, hogy optimalizáljuk a teljesítményt bizonyos eszközökhöz, például teljesítményerősítőkhöz, RF-rendszerekhez vagy nagyfrekvenciás áramkörökhöz.
3. kérdés: Mi a különbség a 4H-N, HPSI és 4H/6H-P SiC hordozók között?
A3:
- 4H-N: A nitrogénnel adalékolt 4H-SiC-t általában olyan nagyfrekvenciás alkalmazásokhoz használják, amelyek nagy elektronikus teljesítményt igényelnek.
- HPSI: A nagy tisztaságú félszigetelő SiC elektromos szigetelést biztosít, ideális olyan alkalmazásokhoz, amelyek minimális elektromos vezetőképességet igényelnek.
- 4H/6H-P: 4H és 6H-SiC keveréke, amely kiegyensúlyozza a teljesítményt, a nagy hatékonyság és a robusztusság kombinációját kínálja, alkalmas különféle teljesítményelektronikai alkalmazásokhoz.
4. kérdés: Ezek a GaN-on-SiC lapkák alkalmasak olyan nagy teljesítményű alkalmazásokhoz, mint az elektromos járművek és a megújuló energia?
A4:Igen, a GaN-on-SiC lapkák kiválóan alkalmasak olyan nagy teljesítményű alkalmazásokhoz, mint az elektromos járművek, a megújuló energiaforrások és az ipari rendszerek. A GaN-on-SiC eszközök nagy áttörési feszültsége, nagy hővezető képessége és teljesítménykezelési képességei lehetővé teszik, hogy hatékonyan teljesítsenek az igényes áramátalakító és vezérlő áramkörökben.
5. kérdés: Mi a tipikus diszlokációs sűrűség ezeknél a lapkáknál?
A5:Ezeknek a GaN-on-SiC lapkáknak a diszlokációs sűrűsége jellemzően< 1 x 10^6 cm^-2, amely kiváló minőségű epitaxiális növekedést biztosít, minimálisra csökkenti a hibákat és javítja az eszköz teljesítményét és megbízhatóságát.
6. kérdés: Kérhetek egy adott szeletméretet vagy SiC hordozótípust?
A6:Igen, testreszabott szeletméreteket (100 mm és 150 mm) és SiC hordozótípusokat (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) kínálunk, hogy megfeleljenek az Ön alkalmazásának speciális igényeinek. Kérjük, forduljon hozzánk további testreszabási lehetőségekért és igényeinek megbeszéléséhez.
7. kérdés: Hogyan teljesítenek a GaN-on-SiC lapkák extrém környezetben?
A7:A GaN-on-SiC ostyák ideálisak extrém környezeti feltételekhez a magas hőstabilitásuk, nagy teljesítményük és kiváló hőelvezetési képességük miatt. Ezek az ostyák jól teljesítenek a repülési, védelmi és ipari alkalmazásokban gyakran előforduló magas hőmérsékletű, nagy teljesítményű és nagyfrekvenciás körülmények között.
Következtetés
Testreszabott GaN-on-SiC epitaxiális lapkáink egyesítik a GaN és a SiC fejlett tulajdonságait, hogy kiváló teljesítményt nyújtsanak nagy teljesítményű és nagyfrekvenciás alkalmazásokban. Több SiC szubsztrátum opcióval és testreszabható epitaxiális rétegekkel ezek a lapkák ideálisak a nagy hatékonyságot, hőkezelést és megbízhatóságot igénylő iparágakban. Legyen szó teljesítményelektronikáról, rádiófrekvenciás rendszerekről vagy védelmi alkalmazásokról, GaN-on-SiC lapkáink a szükséges teljesítményt és rugalmasságot kínálják.
Részletes diagram



