Teljesen automatikus ostyagyűrű-vágó berendezés, munkaméret 8 hüvelyk/12 hüvelyk ostyagyűrű-vágás

Teljesen automatikus ostyagyűrű-vágó berendezés Munkaméret 8 hüvelyk/12 hüvelykes ostyagyűrű-vágás Kiemelt kép

Rövid leírás:

Az XKH önállóan fejlesztett ki egy teljesen automatikus szelet élvágó rendszert, amely egy fejlett megoldást jelent a félvezető gyártási folyamatok előlapjára. Ez a berendezés innovatív többtengelyes szinkron vezérlési technológiát alkalmaz, és nagy merevségű orsórendszerrel (maximális forgási sebesség: 60 000 ford/perc) rendelkezik, amely precíziós élvágást biztosít akár ±5 μm vágási pontossággal. A rendszer kiváló kompatibilitást mutat a különféle félvezető szubsztrátokkal, beleértve, de nem kizárólagosan:
1. Szilícium ostyák (Si): Alkalmas 8-12 hüvelykes ostyák élmegmunkálására；
2. Összetett félvezetők: Harmadik generációs félvezető anyagok, például GaAs és SiC；
3. Speciális aljzatok: Piezoelektromos anyagú ostyák, beleértve az LT/LN-t is；

A moduláris kialakítás lehetővé teszi a több fogyóeszköz, például a gyémánttárcsák és a lézervágó fejek gyors cseréjét, az iparági szabványokat meghaladó kompatibilitással. Speciális folyamatkövetelményekhez átfogó megoldásokat kínálunk, amelyek a következőket foglalják magukban:
· Dedikált vágóanyag-ellátás
· Egyedi feldolgozási szolgáltatások
· Folyamatparaméter-optimalizálási megoldások

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Műszaki paraméterek

Paraméter	Egység	Specifikáció
Maximális munkadarabméret	mm	ø12"
Orsó	Konfiguráció	Egyetlen orsó
	Sebesség	3000–60 000 fordulat/perc
	Kimeneti teljesítmény	1,8 kW (opcionálisan 2,4) 30 000 percenkénti fordulatszámon⁻¹
	Max. pengeátmérő	58 mm-es Ø
X-tengely	Vágási tartomány	310 mm
Y-tengely	Vágási tartomány	310 mm
	Lépésnövekedés	0,0001 mm
	Pozicionálási pontosság	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (egyetlen hiba)
Z-tengely	Mozgásfelbontás	0,00005 mm
Z-tengely	Ismételhetőség	0,001 mm
θ-tengely	Maximális forgatás	380 fok
Orsó típusa		Egyetlen orsó, merev pengével felszerelve gyűrűvágáshoz
Gyűrűvágási pontosság	μm	±50
Ostya pozicionálási pontossága	μm	±50
Egyetlen ostya hatékonysága	perc/ostya	8
Több ostya hatékonysága		Akár 4 ostya egyidejű feldolgozása
Berendezés súlya	kg	≈3200
Berendezés méretei (Sz×M×M)	mm	2730 × 1550 × 2070

Működési elv

A rendszer kivételes vágási teljesítményt ér el a következő alapvető technológiáknak köszönhetően:

1. Intelligens mozgásvezérlő rendszer:
· Nagy pontosságú lineáris motorhajtás (ismételt pozicionálási pontosság: ±0,5 μm)
· Hattengelyes szinkron vezérlés, amely támogatja az összetett pályatervezést
· Valós idejű rezgéscsillapító algoritmusok biztosítják a vágási stabilitást

2. Fejlett érzékelő rendszer:
· Integrált 3D lézeres magasságérzékelő (pontosság: 0,1 μm)
· Nagy felbontású CCD vizuális pozicionáló (5 megapixel)
· Online minőségellenőrzési modul

3. Teljesen automatizált folyamat:
· Automatikus be-/kirakodás (FOUP szabványú interfész kompatibilis)
· Intelligens válogatórendszer
· Zárt hurkú tisztítóberendezés (tisztasági osztály: 10)

Tipikus alkalmazások

Ez a berendezés jelentős értéket képvisel a félvezetőgyártási alkalmazásokban:

Alkalmazási terület	Feldolgozási anyagok	Műszaki előnyök
IC-gyártás	8/12"-os szilícium ostyák	Javítja a litográfia igazítását
Tápellátási eszközök	SiC/GaN ostyák	Megakadályozza az élhibákat
MEMS érzékelők	SOI ostyák	Biztosítja az eszköz megbízhatóságát
RF eszközök	GaAs ostyák	Javítja a nagyfrekvenciás teljesítményt
Fejlett csomagolás	Rekonstituált ostyák	Növeli a csomagolási hozamot

Jellemzők

1. Négyállomásos konfiguráció a magas feldolgozási hatékonyság érdekében;
2. Stabil TAIKO gyűrű leválasztása és eltávolítása；
3. Nagy kompatibilitás a kulcsfontosságú fogyóeszközökkel；
4. Többtengelyes szinkron vágási technológia biztosítja a precíziós élvágást;
5. A teljesen automatizált folyamat jelentősen csökkenti a munkaerőköltségeket;
6. A testreszabott munkaasztal-kialakítás lehetővé teszi a speciális szerkezetek stabil feldolgozását；

Funkciók

1. Gyűrűesés-érzékelő rendszer;
2. Automatikus munkaasztal tisztítás;
3. Intelligens UV-leválasztó rendszer;
4. Működési napló rögzítése；
5.Gyári automatizálási modul integrációja；

Szolgáltatási elkötelezettség

Az XKH átfogó, teljes életciklusú támogatási szolgáltatásokat nyújt, amelyek célja a berendezések teljesítményének és működési hatékonyságának maximalizálása a teljes termelési folyamat során.
1. Testreszabási szolgáltatások
· Testreszabott berendezéskonfiguráció: Mérnökcsapatunk szorosan együttműködik az ügyfelekkel a rendszerparaméterek (vágási sebesség, pengeválasztás stb.) optimalizálása érdekében, az adott anyagtulajdonságok (Si/SiC/GaAs) és a folyamatkövetelmények alapján.
· Folyamatfejlesztési támogatás: Mintafeldolgozást kínálunk részletes elemzési jelentésekkel, beleértve az élérdesség mérését és a hibatérképezést.
· Fogyóeszközök közös fejlesztése: Új anyagok (pl. Ga₂O₃) esetében vezető fogyóeszköz-gyártókkal működünk együtt alkalmazásspecifikus pengék/lézeroptika fejlesztése érdekében.

2. Szakmai technikai támogatás
· Dedikált helyszíni támogatás: Minősített mérnökök kijelölése a kritikus bevezetési fázisokhoz (jellemzően 2-4 hét), a következőket lefedve:
Berendezések kalibrálása és folyamat finomhangolása
Üzemeltetői kompetenciaképzés
ISO 5. osztályú tisztatéri integrációs útmutató
· Prediktív karbantartás: Negyedéves állapotellenőrzések rezgéselemzéssel és szervomotor-diagnosztikával a nem tervezett állásidő megelőzése érdekében.
· Távoli monitorozás: Valós idejű berendezések teljesítményének nyomon követése IoT platformunkon (JCFront Connect®) keresztül automatizált anomália-riasztásokkal.

3. Hozzáadott értékű szolgáltatások
· Folyamatismeretbázis: Hozzáférés több mint 300 validált vágási recepthez különféle anyagokhoz (negyedévente frissítve).
· Technológiai ütemterv összehangolása: Jövőbiztossá teheti befektetését hardver-/szoftverfrissítési útvonalakkal (pl. mesterséges intelligencia alapú hibaészlelő modul).
· Vészhelyzeti reagálás: Garantált 4 órás távoli diagnózis és 48 órás helyszíni beavatkozás (globális lefedettség).

4. Szolgáltatási infrastruktúra
· Teljesítménygarancia: Szerződéses kötelezettségvállalás a berendezések ≥98%-os üzemidejére SLA-val támogatott válaszidők mellett.

Folyamatos fejlesztés

Félévente végzünk ügyfél-elégedettségi felméréseket és Kaizen kezdeményezéseket alkalmazunk a szolgáltatásnyújtás javítása érdekében. K+F csapatunk a terepen szerzett tapasztalatokat berendezésfejlesztésekké alakítja – a firmware-fejlesztések 30%-a ügyfél-visszajelzésekből származik.