Nagy teljesítményű alumínium-oxid kerámia effektor (villás kar) félvezető és tisztatéri automatizáláshoz

Rövid leírás:

Az alumínium-oxid kerámia effektor, más néven kerámia villakar vagy robot kerámia kéz, egy nagy pontosságú anyagmozgató alkatrész, amelyet félvezető, fotovoltaikus, panelkijelző és nagy tisztaságú laboratóriumi környezetekben használt automatizált rendszerekhez terveztek. Kivételes hőstabilitást, mechanikai merevséget és vegyi ellenállást biztosít, így tiszta, megbízható és biztonságos szállítást biztosít érzékeny anyagok, például szilíciumlapkák, üvegszubsztrátok és elektronikus mikroalkatrészek számára.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Részletes ábra

Termékbemutató

Mint egyfajta robotizált effektor, ez a kerámia alkatrész az automatizálási rendszer és a munkadarab közötti végső interfész. Kritikus szerepet játszik a precíziós átvitelben, beállításban, be-/kirakodásban és pozicionálási feladatokban tisztaterekben és vákuumkörnyezetben.

kerámia-kar-félvezetők-szeletmeghajtásához-G13

kerámia-kar-félvezetők-szeletmeghajtásához-G10

kerámia-kar-félvezetők-szeletmeghajtásához-G07

Anyagáttekintés – Alumina kerámia (Al₂O₃)

Az alumínium-oxid kerámia egy rendkívül stabil és kémiailag inert műszaki kerámia anyag, amely kiváló mechanikai és elektromos tulajdonságairól ismert. Az ezekben az effektorokban használt nagy tisztaságú (≥ 99,5%) alumínium-oxid biztosítja:

Nagy keménység (Mohs 9)Az alumínium-oxid a gyémánt után a második legkiválóbb kopásállósággal rendelkezik.
Magas hőmérsékleti képességSzerkezeti integritását 1600°C felett megőrzi.
Kémiai inertségEllenáll savaknak, lúgoknak, oldószereknek és plazmamaratási környezetnek.
Elektromos szigetelésNagy dielektromos szilárdsággal és alacsony dielektromos veszteséggel.
Alacsony hőtágulásMéretstabilitást biztosít termikus ciklusok közötti környezetben.
Alacsony részecskeképződésTisztatéri kompatibilitáshoz elengedhetetlen (10-es osztálytól 1000-es osztályig).

Ezek a tulajdonságok teszik az alumínium-oxid kerámiát ideálissá a szennyeződésre érzékeny iparágakban a kritikus fontosságú műveletekhez.

Funkcionális alkalmazások

Az alumínium-oxid kerámia effektort széles körben alkalmazzák a csúcstechnológiás ipari folyamatokban, különösen ott, ahol a hagyományos fémes vagy műanyag anyagok hőtágulás, szennyeződés vagy korrózió miatt nem felelnek meg a követelményeknek. A főbb alkalmazási területek a következők:

Félvezető ostya átvitel
Fotolitográfiai be- és kirakodó rendszerek
Üvegfelület kezelése OLED és LCD gyártósorokon
Kristályos szilícium ostyaátvitel napelemgyártásban
Automatizált optikai vagy mikroelektronikai ellenőrzés
Mintaszállítás analitikai vagy biomedicinális laboratóriumokban
Vákuumkörnyezeti automatizálási rendszerek

A részecskék vagy sztatikus töltés bejutása nélküli működésének képessége nélkülözhetetlenné teszi a tisztatéri automatizálás precíz robotműveleteihez.

Tervezési jellemzők és testreszabás

Minden kerámia effektort úgy tervezünk, hogy illeszkedjen egy adott robotkarhoz vagy wafer kezelő rendszerhez. Teljes testreszabást támogatunk az alábbiak alapján:

Ostyaméret-kompatibilitás: 2", 4", 6", 8", 12" és több
Horony geometriája és távolsága: Élfogást, hátoldali támaszt vagy bevágott lapkakialakítást is lehetővé tesz
SzívónyílásokIntegrált vákuumfuratok vagy csatornák az érintésmentes kezeléshez
Szerelési konfigurációFuratok, menetek, hornyok, amelyek a robot végszerszámának pereméhez igazodnak
FelületkezelésPolírozott, leppelt vagy finomra köszörült felület (Ra < 0,2 µm elérhető)
ÉlvédelemLekerekített sarkok vagy letört élek a lapka sérülésének elkerülése érdekében

Az ügyfelek által biztosított CAD rajzok vagy 3D modellek segítségével mérnökeink optimalizálni tudják az egyes villakarokat a súly, a szilárdság és a tisztaság szempontjából.

hu_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

A kerámia effektorok előnyei

Jellemző	Haszon
Nagy mechanikai merevség	Megőrzi a méretpontosságot robotterhelés alatt is
Kiváló hőteljesítmény	Megbízhatóan működik magas hőmérsékletű vagy plazma környezetben
Nulla fémszennyezés	Nincs ionszennyeződés veszélye a kritikus félvezető-feldolgozás során
Alacsony súrlódású felület	Csökkenti a karcolódás kockázatát az ostya- vagy üvegfelületeken
Antisztatikus és nem mágneses	Nem vonzza a port, és nem befolyásolja a mágnesességre érzékeny alkatrészeket
Hosszú élettartam	Kiváló kopásállóság ismétlődő nagysebességű automatizálási ciklusokban
Ultra-tiszta kompatibilitás	ISO 14644 szabvány szerinti tisztaterekhez alkalmas (100-as osztály és az alatti)

A műanyag vagy alumínium karokhoz képest az alumínium-oxid kerámia jelentősen jobb kémiai és fizikai stabilitást biztosít minimális karbantartási igény mellett.

Ingatlan	Fém kar	Műanyag kar	Alumínium-oxid kerámia kar
Keménység	Mérsékelt	Alacsony	Nagyon magas (Mohs 9)
Termikus stabilitás	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Vegyi ellenállás	Mérsékelt	Szegény	Kiváló
Tisztatéri alkalmasság	Közepes	Alacsony	Nagyon magas
Kopásállóság	Közepes	Alacsony	Kiemelkedő
Átütési szilárdság	Alacsony	Közepes	Magas
Egyedi megmunkálási precízió	Korlátozott	Mérsékelt	Magas (±0,01 mm lehetséges)

Műszaki adatok

Paraméter	Érték
Anyag	Nagy tisztaságú alumínium-oxid (≥ 99,5%)
Üzemi hőmérséklet	Akár 1600°C-ig
Felületi érdesség	Ra ≤ 0,2 µm (opcionális)
Kompatibilis ostyaméretek	2" - 12" vagy egyedi méret
Síkosságtűrés	±0,01 mm (alkalmazástól függően)
Vákuumszívó támogatás	Opcionális, testreszabható csatornák
Rögzítési lehetőségek	Átmenő, peremes, hornyolt furatok

Gyakran Ismételt Kérdések (GYIK)

1. kérdés: Integrálható-e az effektor a meglévő robotrendszerekbe?
A1:Igen. Támogatjuk a robotikai interfészhez igazított testreszabást. A pontos adaptáció érdekében CAD rajzot vagy peremméreteket küldhet nekünk.

2. kérdés: Könnyen eltörnek a kerámia karok használat közben?
A2:Bár a kerámia természeténél fogva rideg, kialakításaink optimalizált geometriát alkalmaznak a feszültségkoncentráció minimalizálása érdekében. Megfelelő használati körülmények között jelentősen hosszabb élettartamot biztosítanak, mint a fém vagy a műanyag.

3. kérdés: Használható ez ultra-nagy vákuumban vagy plazma maratókamrákban?
A3:Igen. Az alumínium-oxid kerámia nem bocsát ki gázt, hőstabil és korrózióálló – tökéletesen alkalmas nagyvákuumú, reaktív gázos vagy plazma környezetekhez.

4. kérdés: Hogyan tisztítják vagy tartják karban ezeket az alkatrészeket?
A4:Tisztíthatók desztillált vízzel, alkohollal vagy tisztatérben használható tisztítószerekkel. Kémiai stabilitásuk és inert felületük miatt nincs szükség különösebb karbantartásra.

Rólunk

Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.