p-típusú 4H/6H-P 3C-N TÍPUSÚ SIC hordozó 4 hüvelyk 〈111〉± 0,5° Nulla MPD
4H/6H-P típusú SiC kompozit szubsztrátumok Közös paramétertáblázat
4 hüvelyk átmérőjű szilíciumKarbid (SiC) szubsztrát Specifikáció
Fokozat | Nulla MPD gyártás évfolyam (Z Fokozat) | Standard gyártás évfolyam (P Fokozat) | Dummy Grade (D Fokozat) | ||
Átmérő | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Vastagság | 350 μm ± 25 μm | ||||
Ostya orientáció | Tengelyen kívül: 2,0°-4,0° [1120] ± 0,5° 4H/6H- eseténP, On tengely: 〈111〉± 0,5° 3C-N esetén | ||||
Mikrocső sűrűsége | 0 cm-2 | ||||
Ellenállás | p-típusú 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-típusú 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Elsődleges lapos tájolás | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Elsődleges lapos hossz | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos hossz | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos tájolás | Szilícium oldallal felfelé: 90° CW. Prime lakásból±5,0° | ||||
Élek kizárása | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Íj/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Érdesség | Lengyel Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra<0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤ 10 mm, egyetlen hosszúság ≤ 2 mm | |||
Hatlapú lemezek nagy intenzitású fénnyel | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤0,1% | |||
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel | Egyik sem | Összesített terület ≤3% | |||
Vizuális szénzárványok | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤3% | |||
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤1 × ostyaátmérő | |||
Edge Chips magas intenzitású fény | Egyik sem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység | 5 megengedett, egyenként ≤1 mm | |||
Nagy intenzitású szilícium felületi szennyeződés | Egyik sem | ||||
Csomagolás | Több ostya kazetta vagy egy ostya tartály |
Megjegyzések:
※ A hibahatárok a teljes lapkafelületre vonatkoznak, kivéve a szélek kizárási területét. # A karcolásokat csak az Si-felületen kell ellenőrizni.
A P-típusú 4H/6H-P 3C-N típusú 4 hüvelykes SiC hordozót 〈111〉± 0,5°-os tájolással és Zero MPD fokozattal széles körben használják nagy teljesítményű elektronikai alkalmazásokban. Kiváló hővezető képessége és nagy áttörési feszültsége ideálissá teszi az extrém körülmények között működő teljesítményelektronikához, például nagyfeszültségű kapcsolókhoz, inverterekhez és teljesítmény-átalakítókhoz. Ezenkívül az aljzat magas hőmérsékletekkel és korrózióval szembeni ellenálló képessége stabil teljesítményt biztosít zord körülmények között is. A precíz 〈111〉± 0,5°-os tájolás növeli a gyártási pontosságot, így alkalmas RF eszközökhöz és nagyfrekvenciás alkalmazásokhoz, például radarrendszerekhez és vezeték nélküli kommunikációs berendezésekhez.
Az N-típusú SiC kompozit hordozók előnyei a következők:
1. Magas hővezetőképesség: Hatékony hőelvezetés, így alkalmas magas hőmérsékletű környezetekhez és nagy teljesítményű alkalmazásokhoz.
2. High Breakdown Voltage: Megbízható teljesítményt biztosít olyan nagyfeszültségű alkalmazásokban, mint a teljesítmény-átalakítók és inverterek.
3. Nulla MPD (Micro Pipe Defect) fokozat: Minimális hibákat garantál, stabilitást és nagy megbízhatóságot biztosít a kritikus elektronikai eszközökben.
4. Korrózióállóság: Strapabíró zord környezetben, hosszú távú működést biztosít nehéz körülmények között.
5. Pontos 〈111〉± 0,5°-os tájolás: Pontos igazítást tesz lehetővé a gyártás során, javítva az eszköz teljesítményét a nagyfrekvenciás és RF alkalmazásokban.
Összességében a P-típusú 4H/6H-P 3C-N típusú 4 hüvelykes SiC hordozó 〈111〉± 0,5°-os tájolással és Zero MPD minőséggel egy nagy teljesítményű anyag, amely ideális a fejlett elektronikai alkalmazásokhoz. Kiváló hővezető képessége és nagy áttörési feszültsége tökéletessé teszi az olyan teljesítményelektronikához, mint a nagyfeszültségű kapcsolók, inverterek és konverterek. A Zero MPD minőség minimális hibákat biztosít, megbízhatóságot és stabilitást biztosítva a kritikus eszközökben. Ezenkívül az aljzat korrózióval és magas hőmérséklettel szembeni ellenálló képessége biztosítja a tartósságot zord környezetben is. A precíz 〈111〉± 0,5°-os tájolás lehetővé teszi a pontos igazítást a gyártás során, így kiválóan alkalmas RF eszközökhöz és nagyfrekvenciás alkalmazásokhoz.