P-típusú SiC ostya 4H/6H-P 3C-N 6 hüvelyk vastagság 350 μm elsődleges lapos tájolással
Specifikáció4H/6H-P típusú SiC kompozit szubsztrátumok Közös paramétertáblázat
6 hüvelyk átmérőjű szilícium-karbid (SiC) szubsztrát Specifikáció
Fokozat | Nulla MPD gyártásévfolyam (Z Fokozat) | Standard gyártásévfolyam (P Fokozat) | Dummy Grade (D Fokozat) | ||
Átmérő | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Vastagság | 350 μm ± 25 μm | ||||
Ostya orientáció | -Offtengely: 2,0°-4,0° [1120] felé ± 0,5° 4H/6H-P esetén, tengelyen: 〈111〉± 0,5° 3C-N esetén | ||||
Mikrocső sűrűsége | 0 cm-2 | ||||
Ellenállás | p-típusú 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-típusú 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Elsődleges lapos tájolás | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Elsődleges lapos hossz | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos hossz | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos tájolás | Szilícium oldallal felfelé: 90° CW. alaplaptól ± 5,0° | ||||
Élek kizárása | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Íj/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Érdesség | Lengyel Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra<0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤ 10 mm, egyetlen hosszúság ≤ 2 mm | |||
Hatlapú lemezek nagy intenzitású fénnyel | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤0,1% | |||
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel | Egyik sem | Összesített terület ≤3% | |||
Vizuális szénzárványok | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤3% | |||
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤1 × ostyaátmérő | |||
Edge Chips magas intenzitású fény | Egyik sem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység | 5 megengedett, egyenként ≤1 mm | |||
Nagy intenzitású szilícium felületi szennyeződés | Egyik sem | ||||
Csomagolás | Több ostya kazetta vagy egy ostya tartály |
Megjegyzések:
※ A hibahatárok az ostya teljes felületére vonatkoznak, kivéve az élzárási területet. # A karcolásokat ellenőrizni kell az Si arc o-n
A P-típusú SiC lapka, a 4H/6H-P 3C-N 6 hüvelykes méretével és 350 μm vastagságával döntő szerepet játszik a nagy teljesítményű teljesítményelektronika ipari gyártásában. Kiváló hővezető képessége és nagy áttörési feszültsége ideálissá teszi olyan alkatrészek gyártásához, mint például tápkapcsolók, diódák és tranzisztorok, amelyeket magas hőmérsékletű környezetben, például elektromos járművekben, elektromos hálózatokban és megújuló energiarendszerekben használnak. Az ostya azon képessége, hogy zord körülmények között is hatékonyan tud működni, megbízható teljesítményt biztosít a nagy teljesítménysűrűséget és energiahatékonyságot igénylő ipari alkalmazásokban. Ezenkívül elsődleges lapos tájolása segíti a pontos beállítást az eszköz gyártása során, javítva a gyártás hatékonyságát és a termék konzisztenciáját.
Az N-típusú SiC kompozit hordozók előnyei közé tartozik
- Magas hővezetőképesség: A P-típusú SiC lapkák hatékonyan elvezetik a hőt, így ideálisak a magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz.
- Magas áttörési feszültség: képes ellenállni a nagy feszültségeknek, biztosítva a megbízhatóságot a teljesítményelektronikában és a nagyfeszültségű eszközökben.
- Ellenállás a zord környezettel szemben: Kiváló tartósság extrém körülmények között, például magas hőmérsékleten és korrozív környezetben.
- Hatékony energiaátalakítás: A P-típusú adalékolás elősegíti a hatékony teljesítménykezelést, így az ostya alkalmas energiaátalakító rendszerekhez.
- Elsődleges lapos tájolás: Pontos igazítást biztosít a gyártás során, javítva az eszköz pontosságát és konzisztenciáját.
- Vékony szerkezet (350 μm): Az ostya optimális vastagsága támogatja a fejlett, korlátozott helyű elektronikus eszközökbe való integrálást.
Összességében a P-típusú SiC lapka, 4H/6H-P 3C-N, számos előnyt kínál, amelyek kiválóan alkalmassá teszik az ipari és elektronikai alkalmazásokhoz. Magas hővezető képessége és áttörési feszültsége megbízható működést tesz lehetővé magas hőmérsékletű és nagyfeszültségű környezetben, míg a zord körülményekkel szembeni ellenállása biztosítja a tartósságot. A P-típusú adalékolás hatékony teljesítményátalakítást tesz lehetővé, így ideális teljesítményelektronikához és energiarendszerekhez. Ezenkívül az ostya elsődleges lapos tájolása biztosítja a pontos igazítást a gyártási folyamat során, javítva a gyártás konzisztenciáját. 350 μm vastagságával kiválóan alkalmas fejlett, kompakt készülékekbe való integrálásra.