P-típusú SiC ostya 4H/6H-P 3C-N 6 hüvelykes vastagságú 350 μm elsődleges sík orientációval
Specifikáció4H/6H-P típusú SiC kompozit aljzatok Közös paramétertáblázat
6 hüvelyk átmérőjű szilícium-karbid (SiC) hordozó Specifikáció
Fokozat | Nulla MPD termelésFokozat (Z Fokozat) | Standard gyártásFokozat (P Fokozat) | Dummy fokozat (D Fokozat) | ||
Átmérő | 145,5 mm~150,0 mm | ||||
Vastagság | 350 μm ± 25 μm | ||||
Ostya orientáció | -OffTengely: 2,0°-4,0° [1120] felé ± 0,5° 4H/6H-P esetén, Tengelyen: 〈111〉± 0,5° 3C-N esetén | ||||
Mikrocső sűrűsége | 0 cm⁻² | ||||
Ellenállás | p-típusú 4H/6H-P | ≤0,1 Ω₀ cm | ≤0,3 Ω₀ cm | ||
n-típusú 3C-N | ≤0,8 mΩ₀ cm² | ≤1 m Ω₀ cm | |||
Elsődleges sík tájolás | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Elsődleges sík hossza | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos síkhossz | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos sík tájolás | Szilikon felület felfelé: 90° óramutató járásával megegyező irányban az alaplaptól ± 5,0° | ||||
Élkizárás | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Íj/Form | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Érdesség | Lengyel Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤ 10 mm, egyedi hossz ≤ 2 mm | |||
Hex lemezek nagy intenzitású fény segítségével | Kumulált terület ≤0,05% | Kumulált terület ≤0,1% | |||
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel | Egyik sem | Kumulált terület ≤3% | |||
Vizuális szénzárványok | Kumulált terület ≤0,05% | Összesített terület ≤3% | |||
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤1 × ostyaátmérő | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Nem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység | 5 megengedett, mindegyik ≤1 mm | |||
Szilícium felületi szennyeződése nagy intenzitású sugárzással | Egyik sem | ||||
Csomagolás | Több ostyás kazetta vagy egyetlen ostyatartály |
Megjegyzések:
※ A hibahatárok a teljes ostyafelületre vonatkoznak, kivéve a szélek kizárási területét. # A karcolásokat a Si felületén kell ellenőrizni.
A 6 hüvelykes méretű és 350 μm vastag P-típusú SiC szelet, a 4H/6H-P 3C-N, kulcsszerepet játszik a nagy teljesítményű teljesítményelektronikai eszközök ipari gyártásában. Kiváló hővezető képessége és magas átütési feszültsége ideálissá teszi olyan alkatrészek gyártásához, mint a teljesítménykapcsolók, diódák és tranzisztorok, amelyeket magas hőmérsékletű környezetben, például elektromos járművekben, elektromos hálózatokban és megújuló energiarendszerekben használnak. A szelet hatékony működési képessége zord körülmények között is megbízható teljesítményt biztosít a nagy teljesítménysűrűséget és energiahatékonyságot igénylő ipari alkalmazásokban. Ezenkívül elsődleges lapos orientációja segíti a pontos beállítást az eszközgyártás során, növelve a termelési hatékonyságot és a termék állandóságát.
Az N-típusú SiC kompozit szubsztrátok előnyei a következők:
- Magas hővezető képességA P-típusú SiC ostyák hatékonyan vezetik el a hőt, így ideálisak magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz.
- Nagy letörési feszültségKépes ellenállni a nagy feszültségeknek, biztosítva a megbízhatóságot az erősáramú elektronikában és a nagyfeszültségű eszközökben.
- Ellenállás a zord környezetekkel szembenKiváló tartósság: Kiváló tartósság extrém körülmények között, például magas hőmérsékleten és korrozív környezetben.
- Hatékony energiaátalakításA P-típusú adalékolás hatékony teljesítménykezelést tesz lehetővé, így a lapka alkalmas energiaátalakító rendszerekhez.
- Elsődleges sík tájolásBiztosítja a precíz igazítást a gyártás során, javítva az eszköz pontosságát és konzisztenciáját.
- Vékony szerkezet (350 μm)A lapka optimális vastagsága támogatja a fejlett, helyszűkében lévő elektronikus eszközökbe való integrációt.
Összességében a P-típusú SiC ostya, a 4H/6H-P 3C-N, számos előnnyel rendelkezik, amelyek kiválóan alkalmassá teszik ipari és elektronikai alkalmazásokhoz. Magas hővezető képessége és átütési feszültsége lehetővé teszi a megbízható működést magas hőmérsékletű és nagyfeszültségű környezetben, míg a zord körülményekkel szembeni ellenállása tartósságot biztosít. A P-típusú adalékolás hatékony teljesítményátalakítást tesz lehetővé, így ideális teljesítményelektronikai és energetikai rendszerek számára. Ezenkívül az ostya elsődleges sík orientációja biztosítja a precíz igazítást a gyártási folyamat során, növelve a termelés állandóságát. 350 μm vastagságának köszönhetően kiválóan alkalmas fejlett, kompakt eszközökbe való integrálásra.
Részletes ábra

