Mintás zafír hordozó PSS 2 hüvelykes 4 hüvelykes 6 hüvelykes ICP száraz maratás használható LED-chipekhez
Magjellemző
1. Anyagjellemzők: Az alapanyag egykristályos zafír (Al₂O₃), amely nagy keménységgel, magas hőállósággal és kémiai stabilitással rendelkezik.
2. Felületi szerkezet: A felületet fotolitográfiával és maratással periodikus mikro-nano struktúrákká, például kúpokká, piramisokká vagy hatszögletű tömbökké alakítják.
3. Optikai teljesítmény: A felületi mintázat kialakításának köszönhetően csökken a fény teljes visszaverődése a felületen, és javul a fénykivonás hatékonysága.
4. Hőteljesítmény: A zafír hordozó kiváló hővezető képességgel rendelkezik, így alkalmas nagy teljesítményű LED-alkalmazásokhoz.
5. Méretspecifikációk: A gyakori méretek a 2 hüvelyk (50,8 mm), a 4 hüvelyk (100 mm) és a 6 hüvelyk (150 mm).
Fő alkalmazási területek
1. LED-gyártás:
Fokozott fénykivonási hatékonyság: A PSS a mintázattervezésnek köszönhetően csökkenti a fényveszteséget, jelentősen javítva a LED fényerejét és fényhasznosítását.
Javított epitaxiális növekedési minőség: A mintázott szerkezet jobb növekedési alapot biztosít a GaN epitaxiális rétegek számára, és javítja a LED teljesítményét.
2. Lézerdióda (LD):
Nagy teljesítményű lézerek: A PSS magas hővezető képessége és stabilitása alkalmassá teszi őket nagy teljesítményű lézerdiódákhoz, javítva a hőelvezetési teljesítményt és a megbízhatóságot.
Alacsony küszöbáram: Optimalizálja az epitaxiális növekedést, csökkentse a lézerdióda küszöbáramát és javítsa a hatékonyságot.
3. Fotodetektor:
Nagy érzékenység: A PSS magas fényáteresztő képessége és alacsony hibasűrűsége javítja a fotodetektor érzékenységét és válaszidejét.
Széles spektrális válasz: alkalmas fotoelektromos detektálásra az ultraibolya és a látható tartományban.
4. Teljesítményelektronika:
Nagyfeszültségű ellenállás: A Sapphire magas szigetelési és hőstabilitási tulajdonságokkal rendelkezik, így alkalmas nagyfeszültségű eszközökhöz.
Hatékony hőelvezetés: A magas hővezető képesség javítja az erőeszközök hőelvezetési teljesítményét és meghosszabbítja az élettartamot.
5. Rádiófrekvenciás eszközök:
Nagyfrekvenciás teljesítmény: A PSS alacsony dielektromos vesztesége és magas hőstabilitása alkalmas nagyfrekvenciás rádiófrekvenciás eszközökhöz.
Alacsony zajszint: A nagy síkfelület és az alacsony hibasűrűség csökkenti az eszközzajt és javítja a jelminőséget.
6. Bioszenzorok:
Nagy érzékenységű detektálás: A PSS magas fényáteresztő képessége és kémiai stabilitása alkalmassá teszi nagy érzékenységű bioszenzorokhoz.
Biokompatibilitás: A zafír biokompatibilitása alkalmassá teszi orvosi és biodetektív alkalmazásokhoz.
Mintás zafír hordozó (PSS) GaN epitaxiális anyaggal:
A mintázott zafír hordozó (PSS) ideális hordozó a GaN (gallium-nitrid) epitaxiális növekedéshez. A zafír rácsállandója közel van a GaN-hoz, ami csökkentheti a rácseltéréseket és az epitaxiális növekedés hibáit. A PSS felület mikro-nano szerkezete nemcsak a fénykivonás hatékonyságát javítja, hanem a GaN epitaxiális réteg kristályminőségét is, ezáltal javítva a LED teljesítményét és megbízhatóságát.
Műszaki paraméterek
Tétel | Mintás zafír hordozó (2~6 hüvelyk) | ||
Átmérő | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Vastagság | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Felületi orientáció | C-sík (0001) az M-tengely felé irányuló szögben (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
C-sík (0001) az A-tengely felé irányuló szögben (11-20) 0 ± 0,1° | |||
Elsődleges sík tájolás | A-sík (11-20) ± 1,0° | ||
Elsődleges sík hossza | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-sík | 9 órakor | ||
Elülső felületkezelés | Mintás | ||
Hátsó felületkezelés | SSP: Finomra őrölt, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: Epi-polírozott, Ra<0,3 nm | ||
Lézeres jelölés | Hátoldal | ||
TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
ÍJ | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
WARP | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
Élkizárás | ≤2 mm | ||
Minta specifikáció | Alakzatszerkezet | Kupola, kúp, piramis | |
Minta magassága | 1,6~1,8 μm | ||
Minta átmérője | 2,75~2,85 μm | ||
Minta tér | 0,1~0,3 μm |
Az XKH kiváló minőségű, egyedi mintázatú zafír hordozók (PSS) gyártására specializálódott, technikai támogatással és értékesítés utáni szolgáltatással, hogy segítse ügyfeleit a hatékony innováció elérésében a LED-ek, kijelzők és optoelektronika területén.
1. Kiváló minőségű PSS ellátás: Mintás zafír hordozók különböző méretekben (2", 4", 6") a LED-ek, kijelzők és optoelektronikai eszközök igényeinek kielégítésére.
2. Testreszabott kialakítás: A felület mikro-nano szerkezetének (például kúp, piramis vagy hatszögletű tömb) testreszabása az ügyfél igényei szerint a fénykivonás hatékonyságának optimalizálása érdekében.
3. Műszaki támogatás: PSS alkalmazástervezés, folyamatoptimalizálás és műszaki tanácsadás biztosítása a termékek teljesítményének javítása érdekében.
4. Epitaxiális növekedéstámogatás: A GaN epitaxiális anyaggal illesztett PSS biztosítja a kiváló minőségű epitaxiális rétegnövekedést.
5. Tesztelés és tanúsítás: PSS minőségellenőrzési jelentést kell benyújtani annak biztosítására, hogy a termékek megfeleljenek az ipari szabványoknak.
Részletes ábra


