Mintás zafír hordozó PSS 2 hüvelykes 4 hüvelykes 6 hüvelykes ICP száraz maratás használható LED-chipekhez

Rövid leírás:

A mintázott zafír hordozó (PSS) egy olyan hordozó, amelyen litográfiai és maratási technikákkal mikro- és nanoszerkezeteket alakítanak ki. Főként LED-ek (fénykibocsátó diódák) gyártásában használják a fénykivonás hatékonyságának javítására a felületi mintázattervezés révén, ezáltal javítva a LED fényerejét és teljesítményét.


Jellemzők

Magjellemző

1. Anyagjellemzők: Az alapanyag egykristályos zafír (Al₂O₃), amely nagy keménységgel, magas hőállósággal és kémiai stabilitással rendelkezik.

2. Felületi szerkezet: A felületet fotolitográfiával és maratással periodikus mikro-nano struktúrákká, például kúpokká, piramisokká vagy hatszögletű tömbökké alakítják.

3. Optikai teljesítmény: A felületi mintázat kialakításának köszönhetően csökken a fény teljes visszaverődése a felületen, és javul a fénykivonás hatékonysága.

4. Hőteljesítmény: A zafír hordozó kiváló hővezető képességgel rendelkezik, így alkalmas nagy teljesítményű LED-alkalmazásokhoz.

5. Méretspecifikációk: A gyakori méretek a 2 hüvelyk (50,8 mm), a 4 hüvelyk (100 mm) és a 6 hüvelyk (150 mm).

Fő alkalmazási területek

1. LED-gyártás:
Fokozott fénykivonási hatékonyság: A PSS a mintázattervezésnek köszönhetően csökkenti a fényveszteséget, jelentősen javítva a LED fényerejét és fényhasznosítását.

Javított epitaxiális növekedési minőség: A mintázott szerkezet jobb növekedési alapot biztosít a GaN epitaxiális rétegek számára, és javítja a LED teljesítményét.

2. Lézerdióda (LD):
Nagy teljesítményű lézerek: A PSS magas hővezető képessége és stabilitása alkalmassá teszi őket nagy teljesítményű lézerdiódákhoz, javítva a hőelvezetési teljesítményt és a megbízhatóságot.

Alacsony küszöbáram: Optimalizálja az epitaxiális növekedést, csökkentse a lézerdióda küszöbáramát és javítsa a hatékonyságot.

3. Fotodetektor:
Nagy érzékenység: A PSS magas fényáteresztő képessége és alacsony hibasűrűsége javítja a fotodetektor érzékenységét és válaszidejét.

Széles spektrális válasz: alkalmas fotoelektromos detektálásra az ultraibolya és a látható tartományban.

4. Teljesítményelektronika:
Nagyfeszültségű ellenállás: A Sapphire magas szigetelési és hőstabilitási tulajdonságokkal rendelkezik, így alkalmas nagyfeszültségű eszközökhöz.

Hatékony hőelvezetés: A magas hővezető képesség javítja az erőeszközök hőelvezetési teljesítményét és meghosszabbítja az élettartamot.

5. Rádiófrekvenciás eszközök:
Nagyfrekvenciás teljesítmény: A PSS alacsony dielektromos vesztesége és magas hőstabilitása alkalmas nagyfrekvenciás rádiófrekvenciás eszközökhöz.

Alacsony zajszint: A nagy síkfelület és az alacsony hibasűrűség csökkenti az eszközzajt és javítja a jelminőséget.

6. Bioszenzorok:
Nagy érzékenységű detektálás: A PSS magas fényáteresztő képessége és kémiai stabilitása alkalmassá teszi nagy érzékenységű bioszenzorokhoz.

Biokompatibilitás: A zafír biokompatibilitása alkalmassá teszi orvosi és biodetektív alkalmazásokhoz.
Mintás zafír hordozó (PSS) GaN epitaxiális anyaggal:

A mintázott zafír hordozó (PSS) ideális hordozó a GaN (gallium-nitrid) epitaxiális növekedéshez. A zafír rácsállandója közel van a GaN-hoz, ami csökkentheti a rácseltéréseket és az epitaxiális növekedés hibáit. A PSS felület mikro-nano szerkezete nemcsak a fénykivonás hatékonyságát javítja, hanem a GaN epitaxiális réteg kristályminőségét is, ezáltal javítva a LED teljesítményét és megbízhatóságát.

Műszaki paraméterek

Tétel Mintás zafír hordozó (2~6 hüvelyk)
Átmérő 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Vastagság 430 ± 25 μm 650 ± 25 μm 1000 ± 25 μm
Felületi orientáció C-sík (0001) az M-tengely felé irányuló szögben (10-10) 0,2 ± 0,1°
C-sík (0001) az A-tengely felé irányuló szögben (11-20) 0 ± 0,1°
Elsődleges sík tájolás A-sík (11-20) ± 1,0°
Elsődleges sík hossza 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
R-sík 9 órakor
Elülső felületkezelés Mintás
Hátsó felületkezelés SSP: Finomra őrölt, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: Epi-polírozott, Ra<0,3 nm
Lézeres jelölés Hátoldal
TTV ≤8 μm ≤10 μm ≤20 μm
ÍJ ≤10 μm ≤15 μm ≤25 μm
WARP ≤12 μm ≤20 μm ≤30 μm
Élkizárás ≤2 mm
Minta specifikáció Alakzatszerkezet Kupola, kúp, piramis
Minta magassága 1,6~1,8 μm
Minta átmérője 2,75~2,85 μm
Minta tér 0,1~0,3 μm

 Az XKH kiváló minőségű, egyedi mintázatú zafír hordozók (PSS) gyártására specializálódott, technikai támogatással és értékesítés utáni szolgáltatással, hogy segítse ügyfeleit a hatékony innováció elérésében a LED-ek, kijelzők és optoelektronika területén.

1. Kiváló minőségű PSS ellátás: Mintás zafír hordozók különböző méretekben (2", 4", 6") a LED-ek, kijelzők és optoelektronikai eszközök igényeinek kielégítésére.

2. Testreszabott kialakítás: A felület mikro-nano szerkezetének (például kúp, piramis vagy hatszögletű tömb) testreszabása az ügyfél igényei szerint a fénykivonás hatékonyságának optimalizálása érdekében.

3. Műszaki támogatás: PSS alkalmazástervezés, folyamatoptimalizálás és műszaki tanácsadás biztosítása a termékek teljesítményének javítása érdekében.

4. Epitaxiális növekedéstámogatás: A GaN epitaxiális anyaggal illesztett PSS biztosítja a kiváló minőségű epitaxiális rétegnövekedést.

5. Tesztelés és tanúsítás: PSS minőségellenőrzési jelentést kell benyújtani annak biztosítására, hogy a termékek megfeleljenek az ipari szabványoknak.

Részletes ábra

Mintás zafír hordozó (PSS) 4
Mintás zafír hordozó (PSS) 5
Mintás zafír hordozó (PSS) 6

  • Előző:
  • Következő:

  • Írd ide az üzenetedet, és küldd el nekünk