Prémium zafír emelőcsapok Egykristályos Al₂O₃ szelet emelőcsap
Műszaki paraméterek
| Kémiai összetétel | Al₂O₃ |
| Keménység | 9Mohs |
| Optikai természet | Egytengelyű |
| Törésmutató | 1,762-1,770 |
| Kettős törés | 0,008–0,010 |
| Diszperzió | Alacsony, 0,018 |
| Ragyogás | Üvegszerű |
| Pleokroizmus | Közepes vagy erős |
| Átmérő | 0,4 mm-30 mm |
| Átmérő tűréshatár | 0,004 mm-0,05 mm |
| hossz | 2 mm-150 mm |
| hossztűrés | 0,03 mm-0,25 mm |
| Felületi minőség | 40/20 |
| Felületi kerekség | 0,05 rand |
| Egyedi alak | mindkét vége lapos, az egyik vége piros, mindkét vége piros, nyeregcsapok és speciális formák |
Főbb jellemzők
1. Kivételes keménység és kopásállóság: A 9-es Mohs-keménységi besorolással, amely csak a gyémánt után a második, a Sapphire Lift Pins olyan kopási jellemzőket mutat, amelyek drámaian felülmúlják a hagyományos szilícium-karbid, alumínium-oxid kerámia vagy fémötvözet alternatívákat. Ez a rendkívüli keménység jelentősen csökkentett részecskeképződést és karbantartási igényt eredményez, az élettartamuk pedig jellemzően 3-5-ször hosszabb, mint a hagyományos anyagoké hasonló alkalmazásokban.
2. Kiváló hőállóság: A zafír emelőcsapok úgy lettek kialakítva, hogy ellenálljanak az 1000°C feletti hőmérsékleten történő tartós működésnek degradáció nélkül, így a legnagyobb igényű hőkezelési folyamatok során is megőrzik méretstabilitásukat és mechanikai szilárdságukat. Ez különösen értékessé teszi őket olyan kritikus alkalmazásokban, mint a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD), a fémorganikus kémiai gőzfázisú leválasztás (MOCVD) és a magas hőmérsékletű lágyító rendszerek, ahol a hőtágulási eltérés ronthatja a folyamat hozamát.
3. Kémiai inertség: Az egykristályos zafír szerkezet figyelemre méltó ellenállást mutat a HF-sav, a klóralapú vegyszerek és a félvezetőgyártásban gyakran előforduló egyéb agresszív folyamatgázok támadásával szemben. Ez a kémiai stabilitás biztosítja a plazmakörnyezetben való állandó teljesítményt, és megakadályozza a felületi hibák kialakulását, amelyek a lapka szennyeződéséhez vezethetnek.
4. Alacsony részecskeszennyeződés: Hibátlan, nagy tisztaságú zafírkristályokból (jellemzően >99,99%) készültek, ezek az emelőcsapok minimális részecskehullást mutatnak még hosszabb használat után is. Nem porózus felületük és polírozott felületük megfelel a legszigorúbb tisztatéri követelményeknek, ami közvetlenül hozzájárul a fejlett csomópontos félvezetőgyártás folyamathozamának javításához.
Nagy pontosságú megmunkálás: A fejlett gyémántcsiszolási és lézeres megmunkálási technikák alkalmazásával a Sapphire Lift Pins mikron alatti tűréshatárokkal és 0,05 μm Ra alatti felületkezeléssel gyártható. Egyedi geometriák, beleértve a kúpos profilokat, a speciális hegykonfigurációkat és az integrált illesztési funkciókat, tervezhetők a következő generációs gyártóberendezések speciális ostyakezelési kihívásainak kezelésére.
Elsődleges alkalmazások
1. Félvezetőgyártás: A zafír emelőcsapok kritikus szerepet játszanak a fejlett waferfeldolgozó rendszerekben, megbízható tartást és precíz pozicionálást biztosítva a fotolitográfia, maratás, leválasztás és ellenőrzési folyamatok során. Termikus és kémiai stabilitásuk különösen értékessé teszi őket az EUV litográfiai eszközökben és a fejlett csomagolási alkalmazásokban, ahol a nanométeres méretstabilitás elengedhetetlen.
2. LED-epitaxia (MOCVD): Gallium-nitrid (GaN) és rokon félvezető epitaxiális növekedési rendszerekben a zafír emelőcsapok stabil ostyatartást biztosítanak gyakran 1000°C feletti hőmérsékleten. A zafír hordozókkal összehangolt hőtágulási jellemzőik minimalizálják az ostya meghajlását és a megcsúszást az epitaxiális növekedési folyamat során.
3. Fotovoltaikus ipar: A nagy hatékonyságú napelemgyártás a zafír egyedi tulajdonságaiból profitál a magas hőmérsékletű diffúzió, szinterezés és vékonyréteg-leválasztási folyamatok során. A csapok kopásállósága különösen értékes a tömeggyártási környezetben, ahol az alkatrészek hosszú élettartama közvetlenül befolyásolja a gyártási költségeket.
4. Precíziós optika és elektronikai feldolgozás: A félvezető alkalmazásokon túl a zafír emelőcsapok kényes optikai alkatrészek, MEMS eszközök és speciális szubsztrátok kezelésében is használatosak, ahol a szennyeződésmentes feldolgozás és a karcolások megelőzése kritikus fontosságú. Elektromos szigetelő tulajdonságaik ideálissá teszik őket az elektrosztatikusan érzékeny eszközöket tartalmazó alkalmazásokhoz.
Az XKH szolgáltatásai zafír emelőcsapokhoz
Az XKH átfogó műszaki támogatást és testreszabott megoldásokat kínál a Sapphire emelőcsapokhoz:
1. Egyedi fejlesztési szolgáltatások
· Támogatás a méretek, geometriai alakzatok és felületkezelések testreszabásához
· Anyagválasztási és műszaki paraméterek optimalizálására vonatkozó ajánlások
· Együttműködő terméktervezés és szimulációs ellenőrzés
2. Precíziós gyártási képességek
· Nagy pontosságú megmunkálás ±1 μm-en belüli tűréshatárokkal
· Speciális kezelések, beleértve a tükörpolírozást és az élletörést
· Opcionális felületmódosító megoldások, például tapadásgátló bevonatok
3. Minőségbiztosítási rendszer
· A bejövő anyagok ellenőrzésének és folyamatirányításának szigorú végrehajtása
· Teljes dimenziós optikai vizsgálat és felületi morfológiai elemzés
· Termékteljesítmény-tesztjelentések készítése
4. Ellátási lánc szolgáltatások
· Standard termékek gyors szállítása
· Dedikált készletgazdálkodás a kulcsfontosságú ügyfelek számára
5. Műszaki támogatás
· Alkalmazásmegoldási tanácsadás
· Gyors értékesítés utáni válaszadás
Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű Sapphire Lift Pins termékeket és professzionális műszaki szolgáltatásokat nyújtsunk, hogy megfeleljünk a félvezető, LED és más fejlett iparágak szigorú követelményeinek.
