Kvarcüveg ostya JGS1 JGS2 BF33 ostya 8 hüvelyk 12 hüvelyk 725 ± 25 um vagy testreszabott
Specifikáció
Specifikáció | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Átmérő | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Vastagság | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Elsődleges lakás | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Bevágás | Bemetszés | Bemetszés | Bemetszés |
LTV (5mmx5mm) | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm | < 0,5 μm |
TTV | < 2 μm | < 3 μm | <3 µm | <10 μm | <10 μm |
Íj | ±20 μm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
Warp | ≤ 30 μm | ≤ 40 μm | ≤ 70 μm | ≤ 80 μm | ≤ 80 μm |
Élkerekítés | Megfelel a SEMI M1.2 szabványnak/lásd az IEC62276 szabványt | ||||
Felület típusa | Egyoldalas polírozás / Kétoldalas polírozás | ||||
Polírozott oldal Ra | Ra≤1nm | ||||
Hátoldali kritériumok | Ra 0,2-0,7 μm vagy testreszabott |
Kvarcüveg ostya JGS1 JGS2 BF33 ostya paramétertáblázat
Alkalmazás
A JGS1, JGS2 és BF33 anyagokból készült kvarcüveg lapkák széles körben használatosak a nagy pontosságú iparágakban. Ezek a lapkák ideálisak félvezetőgyártáshoz, beleértve a fotomaszk szubsztrátokat és a lapka szintű optikát. Optikai alkatrészekhez, lézerekhez és érzékelőkhöz is alkalmasak olyan iparágakban, mint a telekommunikáció, a repülőgépipar és az orvostechnikai eszközök. Magas hőstabilitásuk és hősokkkal szembeni ellenállásuk tökéletessé teszi őket extrém hőmérsékleti környezetekhez, míg kivételes áteresztőképességük kulcsfontosságú az ultraibolya (UV) és infravörös (IR) optikákhoz.
Tulajdonságok
Anyagtípusok:
JGS1: Magas UV-áteresztőképesség, kiváló ultraibolya fény alkalmazásokhoz.
JGS2: Kiegyensúlyozott áteresztőképesség UV, látható és infravörös tartományban, általános optikai felhasználásra alkalmas.
BF33: Boroszilikát üveg nagy vegyi ellenállósággal és hőállósággal. Méretválaszték:
Standard 8 és 12 hüvelykes ostyaméretekben kapható.
Egyedi méretek gyártása egyedi igények alapján lehetséges. Vastagság:
A standard vastagság 725 ± 25 μm.
Testreszabható vastagság a különböző ipari igények kielégítésére.
Termikus tulajdonságok:
Kiváló hőstabilitás, alkalmas magas hőmérsékletű környezetben való használatra.
Nagyfokú ellenállás a hősokkkal szemben.
Vegyi ellenállás:
Erős ellenállás a savak, lúgok és a legtöbb vegyszer, különösen a BF33 esetében, okozta korrózióval szemben.
Optikai tulajdonságok:
A JGS1 és JGS2 ostyák magas optikai áteresztőképességet biztosítanak ultraibolya (UV), látható és infravörös (IR) tartományban.
Ideális precíziós optikai alkatrészekhez, fotonikai és lézeres alkalmazásokhoz.
Felületi minőség:
Nagy felületi síkság és simaság, amely biztosítja a precíziót a félvezetők és optikai eszközök gyártásában.
Ezek a tulajdonságok teszik a JGS1, JGS2 és BF33 ostyákat sokoldalúvá és megbízhatóvá a nagy teljesítményű alkalmazásokhoz olyan iparágakban, mint az optika, az elektronika és a félvezetők.
Átfogó
A JGS1, JGS2 és BF33 anyagokból készült kvarcüveg lapkák kivételes teljesítményt nyújtanak számos igényes alkalmazásban. 8 hüvelykes és 12 hüvelykes standard méretekben kaphatók, 725 ± 25 μm vastagsággal, és ezek a lapkák testreszabhatók az adott igényeknek megfelelően. A JGS1 és JGS2 nagy optikai áteresztőképességet biztosít UV, látható és IR tartományban, míg a BF33 kiváló kémiai ellenállást és hőstabilitást kínál. A nagy felületi síkfelületnek és simaságnak köszönhetően ezek a lapkák ideálisak a precíziós iparágak, például a félvezetők, az optika és a fotonika számára, biztosítva a megbízhatóságot és a tartósságot extrém környezetekben és kritikus alkalmazásokban.
Részletes ábra

