SiC kerámia villáskar / Végeffektor – Fejlett precíziós anyagmozgatás félvezetőgyártáshoz

Rövid leírás:

A SiC kerámia villakar, amelyet gyakran kerámia effektorként is emlegetnek, egy nagy teljesítményű, precíziós anyagmozgató alkatrész, amelyet kifejezetten a high-tech iparágakban, különösen a félvezető- és fotovoltaikus gyártásban, a szeletek szállítására, beállítására és pozicionálására fejlesztettek ki. A nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámiából készült alkatrész kivételes mechanikai szilárdságot, ultraalacsony hőtágulást, valamint kiváló hősokk- és korrózióállóságot ötvöz.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Részletes ábra

Termékáttekintés

A hagyományos, alumíniumból, rozsdamentes acélból vagy akár kvarcból készült effektorokkal ellentétben a SiC kerámia effektorok páratlan teljesítményt nyújtanak vákuumkamrákban, tisztaterekben és zord feldolgozási környezetben, így kulcsfontosságú részét képezik a következő generációs wafer-kezelő robotoknak. A szennyeződésmentes gyártás iránti növekvő igény és a szigorúbb tűréshatárok miatt a kerámia effektorok használata gyorsan ipari szabvánnyá válik.

Gyártási alapelv

A gyártásSiC kerámia effektoroknagy pontosságú, nagy tisztaságú eljárások sorozatát foglalja magában, amelyek biztosítják mind a teljesítményt, mind a tartósságot. Általában két fő eljárást alkalmaznak:

Reakciókötésű szilícium-karbid (RB-SiC)

Ebben az eljárásban egy szilícium-karbid porból és kötőanyagból készült előformát magas hőmérsékleten (~1500°C) olvadt szilíciummal infiltrálnak, amely reakcióba lép a maradék szénnel, és sűrű, merev SiC-Si kompozitot képez. Ez a módszer kiváló méretkontrollt kínál, és költséghatékony nagyméretű gyártás esetén.

Nyomásmentes szinterezett szilícium-karbid (SSiC)

Az SSiC-t ultrafinom, nagy tisztaságú SiC por rendkívül magas hőmérsékleten (>2000°C) történő szinterelésével állítják elő adalékanyagok vagy kötőfázis használata nélkül. Ennek eredményeként egy közel 100%-os sűrűségű és a SiC anyagok között elérhető legmagasabb mechanikai és termikus tulajdonságokkal rendelkező termék jön létre. Ideális ultrakritikus szeletkezelési alkalmazásokhoz.

Utófeldolgozás

Precíziós CNC megmunkálásNagy síkfelületet és párhuzamosságot ér el.
FelületkezelésA gyémántpolírozás <0,02 µm-re csökkenti a felületi érdességet.
EllenőrzésOptikai interferometriát, koordináta-mérő gépet (CMM) és roncsolásmentes vizsgálatot alkalmaznak minden egyes darab ellenőrzésére.

Ezek a lépések garantálják, hogy aSiC végbehajtókövetkezetes ostyaelhelyezési pontosságot, kiváló síkfelületet és minimális részecskeképződést biztosít.

Főbb jellemzők és előnyök

Jellemző	Leírás
Ultra nagy keménység	Vickers-keménység > 2500 HV, kopás- és lepattogzásálló.
Alacsony hőtágulás	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, ami méretstabilitást biztosít a hőciklusok során.
Kémiai inertség	Ellenáll HF-nek, HCl-nek, plazmagázoknak és más korrozív anyagoknak.
Kiváló hősokk-állóság	Alkalmas gyors melegítésre/hűtésre vákuum- és kemencés rendszerekben.
Nagy merevség és szilárdság	Hosszú, konzolos villákat támaszt alá elhajlás nélkül.
Alacsony gázkibocsátás	Ideális ultramagas vákuumú (UHV) környezetekhez.
ISO 1. osztályú tisztatéri használatra kész	A részecskementes működés biztosítja az ostya integritását.

Alkalmazások

A SiC kerámia villáskart/végeffektort széles körben használják olyan iparágakban, amelyek rendkívüli pontosságot, tisztaságot és vegyszerállóságot igényelnek. A főbb alkalmazási forgatókönyvek a következők:

Félvezető gyártás

Szelvények be- és kirakodása leválasztó (CVD, PVD), maratási (RIE, DRIE) és tisztítórendszerekben.
Robotizált ostyaszállítás FOUP-ok, kazetták és folyamateszközök között.
Magas hőmérsékletű kezelés hőkezelés vagy lágyítás során.

Fotovoltaikus cellák gyártása

Törékeny szilíciumlapkák vagy napelemes aljzatok finom szállítása automatizált gyártósorokon.

Síkképernyős kijelzők (FPD) iparága

Nagy üvegpanelek vagy hordozók mozgatása OLED/LCD gyártási környezetben.

Összetett félvezető / MEMS

GaN, SiC és MEMS gyártósorokon használják, ahol a szennyeződés-szabályozás és a pozicionálási pontosság kulcsfontosságú.

Végeffektor szerepe különösen kritikus a hibamentes, stabil kezelés biztosításában érzékeny műveletek során.

Testreszabási lehetőségek

Széleskörű testreszabási lehetőségeket kínálunk, hogy megfeleljünk a különféle berendezés- és folyamatkövetelményeknek:

Villa kialakításaKétágú, többujjas vagy osztott szintű elrendezések.
Ostyaméret-kompatibilitás: 2”-től 12”-ig terjedő ostyák.
Szerelési interfészekKompatibilis az OEM robotkarokkal.
Vastagság és felületi tűrésekMikron szintű síklapúság és élkerekítés elérhető.
Csúszásgátló funkciókOpcionális felületi textúrák vagy bevonatok a biztonságos ostyafogás érdekében.

Mindenkerámia effektoraz ügyfelekkel közösen tervezték, hogy minimális szerszámcserével biztosítsák a precíz illeszkedést.

Gyakran Ismételt Kérdések (GYIK)

1. kérdés: Miben jobb a SiC a kvarcnál egy effektoros alkalmazásban?
A1:Bár a kvarcot általában tisztasága miatt használják, hiányzik belőle a mechanikai szilárdság, és terhelés vagy hőmérsékleti sokk hatására törésre hajlamos. A SiC kiváló szilárdságot, kopásállóságot és hőstabilitást kínál, ami jelentősen csökkenti az állásidő és a lapkakárosodás kockázatát.

2. kérdés: Ez a kerámia villakar kompatibilis az összes robot waferkezelővel?
A2:Igen, kerámia effektoraink kompatibilisek a legtöbb jelentős wafer kezelő rendszerrel, és precíz műszaki rajzokkal az Ön konkrét robotmodelljeihez igazíthatók.

3. kérdés: Képes-e 300 mm-es ostyákat kezelni vetemedés nélkül?
A3:Abszolút. A SiC nagy merevsége lehetővé teszi, hogy még a vékony, hosszú villáskarok is biztonságosan megtartsák a 300 mm-es wafereket anélkül, hogy mozgás közben megereszkednének vagy elhajlanának.

4. kérdés: Mi a SiC kerámia effektorok tipikus élettartama?
A4:Megfelelő használat mellett a SiC effektor 5-10-szer tovább tarthat, mint a hagyományos kvarc vagy alumínium modellek, a kiváló hő- és mechanikai igénybevételnek való ellenállásának köszönhetően.

5. kérdés: Kínálnak csere- vagy gyors prototípus-készítési szolgáltatásokat?
A5:Igen, támogatjuk a gyors mintagyártást, és CAD rajzok vagy meglévő berendezésekből visszafejtett alkatrészek alapján csereszolgáltatásokat kínálunk.

Rólunk

Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.