SiC hordozó P-típus 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelyk 350 um vastagsággal Gyártási fokozat Dummy minőségű

Rövid leírás:

A P-típusú 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelykes SiC hordozó 350 μm vastagsággal egy nagy teljesítményű félvezető anyag, amelyet széles körben használnak az elektronikai eszközök gyártásában. Kivételes hővezető képességéről, nagy áttörési feszültségéről, valamint szélsőséges hőmérsékletekkel és korrozív környezettel szembeni ellenállásáról ismert hordozó ideális teljesítményelektronikai alkalmazásokhoz. A gyártási minőségű szubsztrátot nagyüzemi gyártásban használják, szigorú minőség-ellenőrzést és magas megbízhatóságot biztosítva a fejlett elektronikai eszközökben. Eközben a hamis minőségű szubsztrátot elsősorban folyamathibakeresésre, berendezések kalibrálására és prototípus-készítésre használják. A SiC kiváló tulajdonságai miatt kiváló választás a magas hőmérsékletű, nagyfeszültségű és nagyfrekvenciás környezetben működő eszközökhöz, beleértve a tápegységeket és az RF rendszereket.


Termék részletek

Termékcímkék

4 hüvelykes SiC hordozó P-típusú 4H/6H-P 3C-N paramétertáblázat

4 hüvelyk átmérőjű szilíciumKarbid (SiC) szubsztrát Specifikáció

Fokozat Nulla MPD gyártás

évfolyam (Z Fokozat)

Standard gyártás

évfolyam (P Fokozat)

 

Dummy Grade (D Fokozat)

Átmérő 99,5 mm ~ 100,0 mm
Vastagság 350 μm ± 25 μm
Ostya orientáció Tengelyen kívül: 2,0°-4,0° [112(-)0] ± 0,5° 4H/6H- eseténP, On tengely: 〈111〉± 0,5° 3C-N esetén
Mikrocső sűrűsége 0 cm-2
Ellenállás p-típusú 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-típusú 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Elsődleges lapos tájolás 4H/6H-P -

{1010} ± 5,0°

3C-N -

{110} ± 5,0°

Elsődleges lapos hossz 32,5 mm ± 2,0 mm
Másodlagos lapos hossz 18,0 mm ± 2,0 mm
Másodlagos lapos tájolás Szilícium oldallal felfelé: 90° CW. Prime lakásból±5,0°
Élek kizárása 3 mm 6 mm
LTV/TTV/Íj/Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Érdesség Lengyel Ra≤1 nm
CMP Ra<0,2 nm Ra≤0,5 nm
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására Egyik sem Összesített hossz ≤ 10 mm, egyetlen hosszúság ≤ 2 mm
Hatlapú lemezek nagy intenzitású fénnyel Összesített terület ≤0,05% Összesített terület ≤0,1%
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel Egyik sem Összesített terület ≤3%
Vizuális szénzárványok Összesített terület ≤0,05% Összesített terület ≤3%
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására Egyik sem Összesített hossz ≤1 × ostyaátmérő
Edge Chips magas intenzitású fény Egyik sem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység 5 megengedett, egyenként ≤1 mm
Nagy intenzitású szilícium felületi szennyeződés Egyik sem
Csomagolás Több ostya kazetta vagy egy ostya tartály

Megjegyzések:

※ A hibahatárok a teljes lapkafelületre vonatkoznak, kivéve a szélek kizárási területét. # A karcolásokat csak az Si-felületen kell ellenőrizni.

A 350 μm vastagságú P-típusú 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelykes SiC szubsztrátot széles körben alkalmazzák a fejlett elektronikai és teljesítményeszközök gyártásában. Kiváló hővezető képességével, nagy áttörési feszültségével és a szélsőséges környezetekkel szembeni erős ellenállásával ez a hordozó ideális nagy teljesítményű teljesítményelektronikához, például nagyfeszültségű kapcsolókhoz, inverterekhez és RF eszközökhöz. A gyártási minőségű szubsztrátokat nagyüzemi gyártásban használják, biztosítva az eszközök megbízható, nagy pontosságú teljesítményét, ami kritikus fontosságú a teljesítményelektronika és a nagyfrekvenciás alkalmazások számára. A hamis minőségű szubsztrátumokat viszont főként folyamatkalibrálásra, berendezések tesztelésére és prototípusfejlesztésre használják, segítve a minőségellenőrzést és a folyamatok konzisztenciáját a félvezetőgyártásban.

SpecifikációAz N-típusú SiC kompozit hordozók előnyei közé tartozik

  • Magas hővezetőképesség: A hatékony hőelvezetés ideálissá teszi az aljzatot magas hőmérsékletű és nagy teljesítményű alkalmazásokhoz.
  • Magas áttörési feszültség: Támogatja a nagyfeszültségű működést, biztosítva a megbízhatóságot a teljesítményelektronikában és az RF eszközökben.
  • Ellenállás a zord környezettel szemben: Tartós szélsőséges körülmények között, például magas hőmérsékleten és korrozív környezetben, így biztosítja a hosszú élettartamot.
  • Gyártási fokozatú precízió: Kiváló minőségű és megbízható teljesítményt biztosít a nagyüzemi gyártás során, alkalmas fejlett energia- és RF alkalmazásokhoz.
  • Dummy-Grade teszteléshez: Lehetővé teszi a pontos folyamatkalibrálást, a berendezések tesztelését és a prototípusok készítését anélkül, hogy veszélyeztetné a gyártási minőségű szeleteket.

 Összességében a P-típusú 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelykes SiC hordozó 350 μm vastagsággal jelentős előnyöket kínál a nagy teljesítményű elektronikus alkalmazásokhoz. Magas hővezető képessége és áttörési feszültsége ideálissá teszi nagy teljesítményű és magas hőmérsékletű környezetekhez, míg a zord körülményekkel szembeni ellenállása biztosítja a tartósságot és a megbízhatóságot. A gyártási minőségű hordozó precíz és egyenletes teljesítményt biztosít a teljesítményelektronika és az RF eszközök nagyüzemi gyártásában. Eközben a próba minőségű hordozó elengedhetetlen a folyamatok kalibrálásához, a berendezések teszteléséhez és a prototípusok készítéséhez, támogatja a minőség-ellenőrzést és a félvezetőgyártás következetességét. Ezek a tulajdonságok a SiC szubsztrátumokat rendkívül sokoldalúvá teszik a fejlett alkalmazásokhoz.

Részletes diagram

b3
b4

  • Előző:
  • Következő:

  • Írja ide üzenetét és küldje el nekünk