SiC hordozó P-típus 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelyk 350 um vastagsággal Gyártási fokozat Dummy minőségű
4 hüvelykes SiC hordozó P-típusú 4H/6H-P 3C-N paramétertáblázat
4 hüvelyk átmérőjű szilíciumKarbid (SiC) szubsztrát Specifikáció
Fokozat | Nulla MPD gyártás évfolyam (Z Fokozat) | Standard gyártás évfolyam (P Fokozat) | Dummy Grade (D Fokozat) | ||
Átmérő | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Vastagság | 350 μm ± 25 μm | ||||
Ostya orientáció | Tengelyen kívül: 2,0°-4,0° [1120] ± 0,5° 4H/6H- eseténP, On tengely: 〈111〉± 0,5° 3C-N esetén | ||||
Mikrocső sűrűsége | 0 cm-2 | ||||
Ellenállás | p-típusú 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-típusú 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Elsődleges lapos tájolás | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Elsődleges lapos hossz | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos hossz | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Másodlagos lapos tájolás | Szilícium oldallal felfelé: 90° CW. Prime lakásból±5,0° | ||||
Élek kizárása | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Íj/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Érdesség | Lengyel Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra<0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤ 10 mm, egyetlen hosszúság ≤ 2 mm | |||
Hatlapú lemezek nagy intenzitású fénnyel | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤0,1% | |||
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel | Egyik sem | Összesített terület ≤3% | |||
Vizuális szénzárványok | Összesített terület ≤0,05% | Összesített terület ≤3% | |||
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤1 × ostyaátmérő | |||
Edge Chips magas intenzitású fény | Egyik sem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység | 5 megengedett, egyenként ≤1 mm | |||
Nagy intenzitású szilícium felületi szennyeződés | Egyik sem | ||||
Csomagolás | Több ostya kazetta vagy egy ostya tartály |
Megjegyzések:
※ A hibahatárok a teljes lapkafelületre vonatkoznak, kivéve a szélek kizárási területét. # A karcolásokat csak az Si-felületen kell ellenőrizni.
A 350 μm vastagságú P-típusú 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelykes SiC szubsztrátot széles körben alkalmazzák a fejlett elektronikai és teljesítményeszközök gyártásában. Kiváló hővezető képességével, nagy áttörési feszültségével és a szélsőséges környezetekkel szembeni erős ellenállásával ez a hordozó ideális nagy teljesítményű teljesítményelektronikához, például nagyfeszültségű kapcsolókhoz, inverterekhez és RF eszközökhöz. A gyártási minőségű szubsztrátokat nagyüzemi gyártásban használják, biztosítva az eszközök megbízható, nagy pontosságú teljesítményét, ami kritikus fontosságú a teljesítményelektronika és a nagyfrekvenciás alkalmazások számára. A hamis minőségű szubsztrátumokat viszont főként folyamatkalibrálásra, berendezések tesztelésére és prototípusfejlesztésre használják, segítve a minőségellenőrzést és a folyamatok konzisztenciáját a félvezetőgyártásban.
SpecifikációAz N-típusú SiC kompozit hordozók előnyei közé tartozik
- Magas hővezetőképesség: A hatékony hőelvezetés ideálissá teszi az aljzatot magas hőmérsékletű és nagy teljesítményű alkalmazásokhoz.
- Magas áttörési feszültség: Támogatja a nagyfeszültségű működést, biztosítva a megbízhatóságot a teljesítményelektronikában és az RF eszközökben.
- Ellenállás a zord környezettel szemben: Tartós szélsőséges körülmények között, például magas hőmérsékleten és korrozív környezetben, így biztosítja a hosszú élettartamot.
- Gyártási fokozatú precízió: Kiváló minőségű és megbízható teljesítményt biztosít a nagyüzemi gyártás során, alkalmas fejlett energia- és RF alkalmazásokhoz.
- Dummy-Grade teszteléshez: Lehetővé teszi a pontos folyamatkalibrálást, a berendezések tesztelését és a prototípusok készítését anélkül, hogy veszélyeztetné a gyártási minőségű szeleteket.
Összességében a P-típusú 4H/6H-P 3C-N 4 hüvelykes SiC hordozó 350 μm vastagsággal jelentős előnyöket kínál a nagy teljesítményű elektronikus alkalmazásokhoz. Magas hővezető képessége és áttörési feszültsége ideálissá teszi nagy teljesítményű és magas hőmérsékletű környezetekhez, míg a zord körülményekkel szembeni ellenállása biztosítja a tartósságot és a megbízhatóságot. A gyártási minőségű hordozó precíz és egyenletes teljesítményt biztosít a teljesítményelektronika és az RF eszközök nagyüzemi gyártásában. Eközben a próba minőségű hordozó elengedhetetlen a folyamatok kalibrálásához, a berendezések teszteléséhez és a prototípusok készítéséhez, támogatja a minőség-ellenőrzést és a félvezetőgyártás következetességét. Ezek a tulajdonságok a SiC szubsztrátumokat rendkívül sokoldalúvá teszik a fejlett alkalmazásokhoz.