Szilícium-karbid konzolos lapát (SiC konzolos lapát)
Részletes ábra
Termékáttekintés
A nagy teljesítményű, reakciókötésű szilícium-karbidból (RBSiC) gyártott szilícium-karbid konzolos lapát kritikus fontosságú alkatrész a félvezető és fotovoltaikus alkalmazások wafer betöltő és kezelő rendszereiben.
A hagyományos kvarc vagy grafit lapátokkal összehasonlítva a SiC konzolos lapátok kiváló mechanikai szilárdságot, nagy keménységet, alacsony hőtágulást és kiemelkedő korrózióállóságot kínálnak. Kiváló szerkezeti stabilitást biztosítanak magas hőmérsékleten is, megfelelve a nagy ostyaméretek, a hosszabb élettartam és az ultra-alacsony szennyeződés szigorú követelményeinek.
A félvezető eljárások folyamatos fejlődésével a nagyobb ostyaátmérők, a nagyobb áteresztőképesség és a tisztább feldolgozási környezetek felé a SiC konzolos lapátok fokozatosan felváltották a hagyományos anyagokat, és a diffúziós kemencék, az LPCVD és a kapcsolódó magas hőmérsékletű berendezések előnyben részesített választásává váltak.
Termékjellemzők
-
Kiváló magas hőmérsékleti stabilitás
-
Megbízhatóan működik 1000–1300 ℃ között deformáció nélkül.
-
Maximális üzemi hőmérséklet akár 1380 ℃.
-
-
Nagy teherbírás
-
Hajlítószilárdság akár 250–280 MPa, ami jóval nagyobb, mint a kvarc lapátoknál.
-
Nagy átmérőjű ostyák (300 mm és nagyobb) kezelésére képes.
-
-
Meghosszabbított élettartam és alacsony karbantartási igény
-
Alacsony hőtágulási együttható (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), jól illeszkedik az LPCVD bevonóanyagokhoz.
-
Csökkenti a stressz okozta repedéseket és hámlást, jelentősen meghosszabbítva a tisztítási és karbantartási ciklusokat.
-
-
Korrózióállóság és tisztaság
-
Kiváló ellenálló képesség savakkal és lúgokkal szemben.
-
Sűrű mikroszerkezet, nyitott porozitás <0,1%, minimalizálva a részecskeképződést és a szennyeződések felszabadulását.
-
-
Automatizálással kompatibilis kialakítás
-
Stabil keresztmetszeti geometria nagy méretpontossággal.
-
Zökkenőmentesen integrálható a robotizált ostyaadagoló és -kirakodó rendszerekkel, lehetővé téve a teljesen automatizált gyártást.
-
Fizikai és kémiai tulajdonságok
| Tétel | Egység | Adat |
|---|---|---|
| Max. üzemi hőmérséklet | ℃ | 1380 |
| Sűrűség | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| Nyílt porozitás | % | < 0,1 |
| Hajlítószilárdság | MPa | 250 (20 ℃), 280 (1200 ℃) |
| Rugalmassági modulus | GPa | 330 (20 ℃), 300 (1200 ℃) |
| Hővezető képesség | W/m·K | 45 (1200 ℃) |
| Hőtágulási együttható | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Vickers-keménység | HV2 | ≥ 2100 |
| Sav-/lúgállóság | - | Kiváló |
-
Standard hosszúságok:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
-
Egyedi méretek kérésre elérhetők
Alkalmazások
-
Félvezetőipar
-
LPCVD (alacsony nyomású kémiai gőzfázisú leválasztás)
-
Diffúziós folyamatok (foszfor, bór stb.)
-
Termikus oxidáció
-
-
Fotovoltaikus ipar
-
Poliszilícium és monokristályos ostya diffúzió és bevonat
-
Magas hőmérsékletű hőkezelés és passziválás
-
-
Egyéb mezők
-
Magas hőmérsékletű korrozív környezetek
-
Precíziós szeletkezelő rendszerek, amelyek hosszú élettartamot és alacsony szennyeződési szintet igényelnek
-
Ügyfélelőnyök
-
Csökkentett üzemeltetési költségek– Hosszabb élettartam a kvarc lapátokhoz képest, minimalizálva az állásidőt és a csere gyakoriságát.
-
Magasabb hozam– A rendkívül alacsony szennyeződési szint biztosítja a lapka felületének tisztaságát és csökkenti a hibaszázalékot.
-
Jövőbiztos– Kompatibilis a nagy ostyaméretekkel és a következő generációs félvezető eljárásokkal.
-
Fokozott termelékenység– Teljesen kompatibilis a robotizált automatizálási rendszerekkel, támogatva a nagy volumenű gyártást.
GYIK – Szilícium-karbid konzolos lapát
1. kérdés: Mi az a szilícium-karbid konzolos lapát?
V: Ez egy reakciókötésű szilícium-karbidból (RBSiC) készült lapkatartó és -kezelő alkatrész. Széles körben használják diffúziós kemencékben, LPCVD-ben és más magas hőmérsékletű félvezető és fotovoltaikus folyamatokban.
2. kérdés: Miért érdemes SiC-ot választani a kvarc lapátokkal szemben?
A: A kvarclapátokkal összehasonlítva a SiC lapátok a következőket kínálják:
-
Nagyobb mechanikai szilárdság és teherbírás
-
Jobb hőstabilitás akár 1380 ℃-os hőmérsékleten
-
Sokkal hosszabb élettartam és csökkentett karbantartási ciklusok
-
Alacsonyabb részecskeképződés és szennyeződés kockázata
-
Kompatibilitás nagyobb ostyaméretekkel (300 mm és afelett)
3. kérdés: Milyen lapkaméreteket tud támogatni a SiC konzolos lapát?
A: Standard lapátok kaphatók 2378 mm-es, 2550 mm-es és 2660 mm-es kemencerendszerekhez. Egyedi méretek is elérhetők, amelyek akár 300 mm-es és nagyobb szeletek befogadására is alkalmasak.
Rólunk
Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.
