Szilícium-karbid kerámia tálcaszívó Szilícium-karbid kerámia cső magas hőmérsékletű szinterezéssel, egyedi feldolgozással

Szilícium-karbid kerámia tálcaszívó Szilícium-karbid kerámia csőellátás magas hőmérsékletű szinterezéssel, egyedi feldolgozás Kiemelt kép

Rövid leírás:

A szilícium-karbid kerámia tálca és a szilícium-karbid kerámia csövek nélkülözhetetlen, nagy teljesítményű anyagok a félvezetőgyártásban. A szilícium-karbid kerámia tálcákat főként ostyagyártásban használják rögzített és csapágyazott alkatrészekhez, a nagy pontosságú folyamatok stabilitásának biztosítására; a szilícium-karbid kerámia csöveket széles körben használják magas hőmérsékletű kemencecsövekben, diffúziós kemencecsövekben és más körülmények között, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeti hatásoknak és fenntartsák a hatékony hőgazdálkodást. Mindkettő szilícium-karbidon alapul, mint maganyagon, amely kiváló fizikai és kémiai tulajdonságai miatt kulcsfontosságú alkotóelemmé vált a félvezetőiparban.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Főbb jellemzők:

1. Szilícium-karbid kerámia tálca
- Nagy keménység és kopásállóság: a keménység közel áll a gyémántéhoz, és hosszú ideig ellenáll a mechanikai kopásnak az ostyafeldolgozás során.
- Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható: gyors hőelvezetés és méretstabilitás, elkerülve a hőfeszültség okozta deformációt.
- Nagy síkfelület és felületi minőség: A felület síkfelülete mikronos szintű, így biztosítva a lapka és a korong közötti teljes érintkezést, csökkentve a szennyeződést és a károsodást.
Kémiai stabilitás: Erős korrózióállóság, alkalmas nedves tisztítási és marási folyamatokhoz félvezetőgyártásban.
2. Szilícium-karbid kerámia cső
- Magas hőmérsékleti ellenállás: Hosszú ideig képes 1600°C feletti magas hőmérsékletű környezetben működni, alkalmas félvezető magas hőmérsékletű folyamatokhoz.
Kiváló korrózióállóság: ellenáll savaknak, lúgoknak és különféle kémiai oldószereknek, alkalmas zord technológiai környezetekre.
- Nagy keménység és kopásállóság: ellenáll a részecskék eróziójának és a mechanikai kopásnak, meghosszabbítja az élettartamot.
- Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható: gyors hővezetés és méretstabilitás, csökkentve a hőfeszültség okozta deformációt vagy repedést.

Termékparaméter:

Szilícium-karbid kerámia tálca paraméter:

(Anyagi tulajdonság)		(Egység)	(ssic)
(SiC-tartalom)		(Tömeg)%	>99
(Átlagos szemcseméret)		mikron	4-10
(Sűrűség)		kg/dm3	>3.14
(Látszó porozitás)		Vo1%	<0,5
(Vickers-keménység)	HV 0,5	Gpa	28
() Hajlítószilárdság (három pont)	20°C	MPa	450
(Szorítószilárdság)	20°C	MPa	3900
(Rugalmassági modulus)	20°C	Gpa	420
(Törésállóság)		MPa/m'%	3.5
(Hővezető képesség)	20°C	W/(m²K)	160
(Ellenállóképesség)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Hőtágulási együttható)	a(RT**...80°C)	K-1*10-6	4.3
(Maximális üzemi hőmérséklet)		oºC	1700

Szilícium-karbid kerámia cső paramétere:

Tételek	Index
α-SIC	99% minimum
Látszólagos porozitás	16% maximum
Térfogatsűrűség	2,7 g/cm3 perc
Hajlítószilárdság magas hőmérsékleten	100 MPa percenként
Hőtágulási együttható	K-1 4,7x10-6
Hővezetési együttható (1400ºC)	24 W/mk
Max. üzemi hőmérséklet	1650ºC

Fő alkalmazások:

1. Szilícium-karbid kerámia lemez
- Ostyavágás és polírozás: csapágyazású platformként szolgál a nagy pontosság és stabilitás biztosítása érdekében a vágás és polírozás során.
- Litográfiai eljárás: A lapkát rögzítik a litográfiai gépben, hogy biztosítsák a nagy pontosságú pozicionálást az expozíció során.
- Kémiai mechanikai polírozás (CMP): a polírozókorongok tartófelületeként szolgál, egyenletes nyomás- és hőeloszlást biztosítva.
2. Szilícium-karbid kerámia cső
- Magas hőmérsékletű kemencecső: magas hőmérsékletű berendezésekhez, például diffúziós kemencékhez és oxidációs kemencékhez használják ostyák szállítására magas hőmérsékletű folyamatkezeléshez.
- CVD/PVD eljárás: Csapágycsőként a reakciókamrában, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a korrozív gázoknak.
- Félvezető berendezések tartozékai: hőcserélőkhöz, gázvezetékekhez stb., a berendezések hőgazdálkodási hatékonyságának javítása érdekében.
Az XKH teljes körű, egyedi szolgáltatásokat kínál szilícium-karbid kerámia tálcák, tapadókorongok és szilícium-karbid kerámia csövek gyártásához. A szilícium-karbid kerámia tálcák és tapadókorongok az XKH esetében az ügyfél igényei szerint testreszabhatók, különböző méretekben, formákban és felületi érdességben, és támogatják a speciális bevonatkezelést, fokozzák a kopásállóságot és a korrózióállóságot. A szilícium-karbid kerámia csövek esetében az XKH a belső átmérő, a külső átmérő, a hosszúság és az összetett szerkezet (például formázott cső vagy porózus cső) tekintetében testreszabható, valamint polírozást, antioxidáns bevonatot és egyéb felületkezelési eljárásokat is biztosít. Az XKH biztosítja, hogy az ügyfelek teljes mértékben kihasználhassák a szilícium-karbid kerámia termékek teljesítménybeli előnyeit, hogy megfeleljenek a csúcskategóriás gyártási területek, például a félvezetők, LED-ek és a fotovoltaikus elemek iránti igényes követelményeknek.