Szilícium karbid kerámia tálca balek szilícium karbid kerámiacsőellátás magas hőmérsékletű szinterelés egyedi feldolgozás

Rövid leírás:

A szilícium-karbid kerámia tálca és a szilícium-karbid kerámiacsövek nélkülözhetetlen nagy teljesítményű anyagok a félvezető gyártásában. A szilícium-karbid kerámia tálcát főként rögzített és csapágyak feldolgozásához használják, hogy biztosítsák a nagy pontosságú folyamat stabilitását; A szilícium -karbid kerámiacsöveket széles körben használják magas hőmérsékletű kemencecsövekben, diffúziós kemencecsövekben és egyéb forgatókönyvekben, hogy ellenálljanak a szélsőséges környezeteknek és fenntartják a hatékony hőgazdálkodást. Mindkettő a szilícium -karbidon alapul, mint alapanyag, amely kiváló fizikai és kémiai tulajdonságainak köszönhetően a félvezető iparág kulcseleme lett.

Küldjön e -mailt nekünk

Termék részlete

Termékcímkék

Fő jellemzők:

1. szilícium -karbid kerámia tálca
- Nagy keménység és kopásállóság: A keménység közel van a gyémánthoz, és hosszú ideig ellenáll a mechanikus kopásnak az ostyafeldolgozásban.
- Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható: Gyors hőeloszlás és méret stabilitás, elkerülve a termikus stressz által okozott deformációt.
- High Síkság és felületi kivitel: A felületi síkság a mikron szintjéig van, biztosítva a ostya és a lemez közötti teljes érintkezést, csökkentve a szennyeződést és a károsodást.
Kémiai stabilitás: Erős korrózióállóság, amely alkalmas a félvezető gyártásában a nedves tisztítási és maratási folyamatokra.
2. Szilícium karbid kerámiacső
- Magas hőmérséklet -ellenállás: Hosszú ideig 1600 ° C feletti magas hőmérsékleti környezetben működhet, amely alkalmas félvezető magas hőmérsékleti folyamatra.
Kiváló korrózióállóság: A savakkal, lúgokkal és különféle kémiai oldószerekkel szembeni rezisztencia, amely alkalmas a durva folyamatkörnyezetre.
- Nagy keménység és kopásállóság: ellenálljon a részecskék eróziójának és a mechanikus kopásnak, kiterjeszti az élettartamot.
- Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható: A hő- és dimenziós stabilitás gyors vezetése, csökkentve a deformációt vagy a termikus feszültség által okozott repedést.

Termékparaméter ：

Szilícium karbid kerámia tálca paraméter:

(Anyagtulajdon)		(Egység)	(SSIC)
(Sic tartalom)		(WT)%	> 99
(Átlagos gabonaméret)		mikron	4-10
(Sűrűség)		kg/dm3	> 3,14
(Látszólagos porozitás)		Vo1%	<0,5
(Vickers keménység)	HV 0.5	GPA	28
() Hajlító erő (három pont)	20ºC	MPA	450
(Nyomószilárdság)	20ºC	MPA	3900
(Elasztikus modulus)	20ºC	GPA	420
(Törési szilárdság)		MPA/M '%	3.5
(Hővezető képesség)	20 ° ° C	W/(m*k)	160
(Ellenállás)	20 ° ° C	Ohm.cm	106-108
(Hőtágulási együttható)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maximális üzemi hőmérséklet)		OºC	1700

Szilícium karbid kerámiacső paraméter:

Tárgyak	Index
α-SIC	99% perc
Látszólagos porozitás	16% Max
Ömlesztett sűrűség	2,7 g/cm3 perc
Hajlító szilárdság magas hőmérsékleten	100 MPa Min
Termikus tágulási együttható	K -1 4,7x10 -6
A hővezető képesség együtthatója (1400ºC)	24 w/mk
Max. Üzemi hőmérséklet	1650ºC

Fő alkalmazások:

1. szilícium -karbid kerámia tányér
- Címkézés és polírozás: csapágyplatformként szolgál a nagy pontosság és stabilitás biztosítása érdekében a vágás és a polírozás során.
- Litográfiai folyamat: Az ostya rögzítve van a litográfiai gépen, hogy biztosítsa a nagy pontosságú pozicionálást az expozíció során.
- Kémiai mechanikus polírozás (CMP): Támogató platformként szolgál a párnák polírozásához, egyenletes nyomás és hőeloszlás biztosítása.
2. Szilícium karbid kerámiacső
- Magas hőmérsékletű kemencecső: A magas hőmérsékletű berendezésekhez, például diffúziós kemencéhez és oxidációs kemencéhez használják a magas hőmérsékleti kezelés kezelésére szolgáló ostyákat.
- CVD/PVD eljárás: csapágycsövként a reakció kamrában, ellenállva a magas hőmérsékleteknek és a korrozív gázoknak.
- Félvezető berendezés -kiegészítők: Hőcserélők, gázvezetékek stb., A berendezések hőgazdálkodási hatékonyságának javítása érdekében.
Az XKH az egyedi szolgáltatások teljes skáláját kínálja a szilícium -karbid kerámia tálcákhoz, szívópoharakhoz és szilícium -karbid kerámiacsövekhez. Szilícium -karbid kerámia tálcák és szívópoharak, az XKH testreszabható a különböző méretű, formájú és felületi érdességgel rendelkező vevői igények szerint, és támogatja a speciális bevonatkezelést, fokozza a kopásállóság és a korrózióállóság; A szilícium-karbid kerámiacsövekhez az XKH testreszabhatja a belső átmérő különféle átmérőjét, a külső átmérőjét, a hosszát és az összetett szerkezetet (például alakú cső vagy porózus cső), és polírozást, anti-oxidációs bevonatot és egyéb felületkezelési eljárásokat biztosít. Az XKH biztosítja, hogy az ügyfelek teljes mértékben kihasználhassák a szilícium-karbid kerámia termékek teljesítmény-előnyeit, hogy megfeleljenek a csúcskategóriás gyártási területek, például félvezetők, LED-ek és fotovoltaika igényes követelményeinek.