Szilícium-karbid gyémánthuzalvágó gép 4/6/8/12 hüvelykes SiC rúdfeldolgozás

Rövid leírás:

A szilícium-karbid gyémánthuzalos vágógép egy nagy pontosságú megmunkáló berendezés, amely szilícium-karbid (SiC) tuskó szeletelésére szolgál, gyémánthuzalos fűrész technológiát alkalmazva, nagy sebességű mozgó gyémánthuzallal (vezetékátmérő 0,1~0,3 mm) SiC tuskó többhuzalos vágásával, nagy pontosságú, kis károsodású szeletkészítést érve el. A berendezést széles körben használják SiC teljesítmény-félvezetők (MOSFET/SBD), rádiófrekvenciás eszközök (GaN-on-SiC) és optoelektronikai eszközök szubsztrátjának feldolgozásában, kulcsfontosságú berendezés a SiC ipari láncban.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Működési elv:

1. Öntőrúd rögzítése: A SiC öntvényt (4H/6H-SiC) a vágóplatformon rögzítik a készüléken keresztül, hogy biztosítsák a pozíciópontosságot (±0,02 mm).

2. Gyémántvezeték mozgása: a gyémántvezetéket (galvanizált gyémántrészecskék a felületen) a vezetőkerék-rendszer hajtja a nagy sebességű keringés érdekében (vezetéksebesség 10~30m/s).

3. Vágóadagolás: a rúdat a beállított irányban adagolják, és a gyémántvonalat több párhuzamos vonallal (100~500 vonal) egyidejűleg vágják el, hogy több ostyát hozzanak létre.

4. Hűtés és forgácseltávolítás: Permetezzen hűtőfolyadékot (ioncserélt víz + adalékanyagok) a forgácsolási területre a hőkárosodás csökkentése és a forgácsok eltávolítása érdekében.

Főbb paraméterek:

1. Vágási sebesség: 0,2~1,0 mm/perc (a SiC kristályirányától és vastagságától függően).

2. Drótfeszítés: 20~50N (túl magas, könnyen elszakadhat a drót, túl alacsony, ami befolyásolja a vágási pontosságot).

3. Ostya vastagsága: standard 350~500μm, az ostya elérheti a 100μm-t.

Főbb jellemzők:

(1) Vágási pontosság
Vastagságtűrés: ±5 μm (@350 μm-es lapka), jobb, mint a hagyományos habarcsvágás (±20 μm).

Felületi érdesség: Ra<0,5μm (nincs szükség további csiszolásra a későbbi megmunkálás mennyiségének csökkentése érdekében).

Vetemedés: <10μm (csökkenti a későbbi polírozás nehézségeit).

(2) Feldolgozási hatékonyság
Többsoros vágás: egyszerre 100~500 darab vágása, ami 3~5-szörösére növeli a termelési kapacitást (az egysoros vágáshoz képest).

Vonal élettartama: A gyémántvágó vonal 100~300 km SiC vágására képes (a tömb keménységétől és a folyamat optimalizálásától függően).

(3) Alacsony sebzésű feldolgozás
Éltörés: <15μm (hagyományos vágás >50μm), javítja az ostya hozamát.

Felület alatti sérült réteg: <5 μm (csökkenti a polírozási eltávolítást).

(4) Környezetvédelem és gazdaság
Nincs habarcsszennyeződés: A habarcsvágáshoz képest alacsonyabb hulladékfolyadék-elszállítási költségek.

Anyagkihasználás: Forgácsolási veszteség <100μm/vágó, ami SiC alapanyagot takarít meg.

Vágóhatás:

1. Ostya minősége: nincsenek makroszkopikus repedések a felületen, kevés mikroszkopikus hiba (szabályozható diszlokáció-kiterjedés). Közvetlenül beléphet a durva polírozó összeköttetésbe, lerövidítve a folyamatfolyamatot.

2. Állandóság: az ostya vastagságeltérése a tételben <±3%, alkalmas automatizált gyártásra.

3. Alkalmazhatóság: Támogatja a 4H/6H-SiC rúdvágást, kompatibilis a vezetőképes/félig szigetelt típusokkal.

Műszaki előírás:

Specifikáció	Részletek
Méretek (H × Sz × M)	2500x2300x2500 vagy testreszabható
Feldolgozandó anyag mérettartománya	4, 6, 8, 10, 12 hüvelyk szilícium-karbid
Felületi érdesség	Ra≤0.3u
Átlagos vágási sebesség	0,3 mm/perc
Súly	5,5 t
A vágási folyamat beállításának lépései	≤30 lépés
Berendezés zaja	≤80 dB
Acélhuzal feszültsége	0~110N (0,25-ös huzalfeszültség 45N)
Acélhuzal sebessége	0~30 m/s
Teljes teljesítmény	50 kW
Gyémánthuzal átmérője	≥0,18 mm
Véglaposság	≤0,05 mm
Vágási és törési sebesség	≤1% (kivéve az emberi okokat, a szilícium anyagot, a vezetéket, a karbantartást és egyéb okokat)

XKH szolgáltatások:

Az XKH a szilícium-karbid gyémánthuzalos vágógép teljes folyamatszolgáltatását nyújtja, beleértve a berendezés kiválasztását (huzalátmérő/huzalsebesség illesztése), a folyamatfejlesztést (vágási paraméterek optimalizálása), a fogyóeszközök ellátását (gyémánthuzal, vezetőkerék) és az értékesítés utáni támogatást (berendezések karbantartása, vágási minőségelemzése), hogy segítsen az ügyfeleknek magas hozamot (>95%), alacsony költségű SiC szeletek tömeggyártását elérni. Emellett egyedi fejlesztéseket is kínál (például ultravékony vágás, automatizált be- és kirakodás) 4-8 hetes átfutási idővel.