Szilícium-karbid SiC kerámia villakar/kéz kritikus anyagmozgató rendszerekhez

Rövid leírás:

ASzilícium-karbid kerámia villakar/kézegy élvonalbeli alkatrész, amelyet fejlett ipari automatizáláshoz, félvezető-feldolgozáshoz és ultratiszta környezetekhez fejlesztettek ki. Jellegzetes villás architektúrája és ultralapos kerámia felülete ideálissá teszi kényes hordozók, például szilíciumlapkák, üvegpanelek és optikai eszközök kezeléséhez. Precízen megtervezett és ultratiszta szilícium-karbidból gyártott...Szilícium-karbid kerámia villakar/kézpáratlan mechanikai szilárdságot, hőállóságot és szennyeződés-szabályozást kínál.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Részletes ábra

Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz bemutatása

A hagyományos fém vagy műanyag karokkal ellentétben aSzilícium-karbid kerámia villakar/kézstabil teljesítményt nyújt extrém hőmérsékleti, kémiai és vákuumkörülmények között. Akár 1. osztályú tisztatérben, akár nagyvákuumú plazmakamrában működik, ez az alkatrész biztosítja az értékes alkatrészek biztonságos, hatékony és maradékmentes szállítását.

A robotkarokhoz, ostyakezelőkhöz és automatizált átviteli eszközökhöz igazított szerkezettel aSzilícium-karbid kerámia villakar/kézintelligens fejlesztés bármely nagy pontosságú rendszerhez.

Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz gyártási folyamata

Nagy teljesítményű eszköz létrehozásaSzilícium-karbid kerámia villakar/kézegy szigorúan ellenőrzött kerámiamérnöki munkafolyamatot foglal magában, amely biztosítja az ismételhetőséget, a megbízhatóságot és a rendkívül alacsony hibaszázalékot.

1. Anyagmérnöki

Kizárólag ultra nagy tisztaságú szilícium-karbid port használnak a gyártás során.Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz, biztosítva az alacsony ionszennyeződést és a nagy térfogatszilárdságot. A porokat precízen összekeverik szinterelési adalékokkal és kötőanyagokkal az optimális tömörítés elérése érdekében.

2. Az alapszerkezet kialakítása

Az alap geometriájavillakar/kézhideg izosztatikus préseléssel vagy fröccsöntéssel készül, ami nagy nyersanyagsűrűséget és egyenletes feszültségeloszlást biztosít. Az U alakú konfiguráció a merevség-tömeg arány és a dinamikus válasz szempontjából optimalizált.

3. Szinterelési folyamat

A zöld testSzilícium-karbid kerámia villakar/kézmagas hőmérsékletű, inert gázkemencében szinterelik 2000 °C felett. Ez a lépés közel elméleti sűrűséget biztosít, olyan alkatrészt hozva létre, amely valós hőterhelések alatt is ellenáll a repedésnek, a vetemedésnek és a méretbeli eltérésnek.

4. Precíziós köszörülés és megmunkálás

A végső méretek kialakításához fejlett CNC gyémántszerszámokat használnak.Szilícium-karbid kerámia villakar/kézA szűk tűrések (±0,01 mm) és a tükörsíkú felületkezelés csökkentik a részecskék kibocsátását és a mechanikai igénybevételt.

5. Felületkezelés és tisztítás

A végső felületkezelés magában foglalja a kémiai polírozást és az ultrahangos tisztítást az előkészítéshez.villakar/kézUltratiszta rendszerekbe való közvetlen integrációhoz. Opcionális bevonatok (CVD-SiC, tükröződésmentes rétegek) is kaphatók.

Ez a gondos folyamat garantálja, hogy mindenSzilícium-karbid kerámia villakar/kézmegfelel a legszigorúbb ipari szabványoknak, beleértve a SEMI és ISO tisztatéri követelményeket is.

Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz paraméterei

Tétel	Vizsgálati feltételek	Adat	Egység
Szilícium-karbid tartalom	/	>99,5	%
Átlagos szemcseméret	/	4-10	mikron
Sűrűség	/	>3.14	g/cm3
Látszólagos porozitás	/	<0,5	Térfogatszázalék
Vickers-keménység	HV0.5	2800	Kg/mm2
Szakadási modulus (3 pont)	Tesztrúd mérete: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Nyomószilárdság	20°C	3900	MPa
Rugalmassági modulus	20°C	420	GPa
Törésállóság	/	3.5	MPa/m²^1/2
Hővezető képesség	20°C	160	W/(mK)
Elektromos ellenállás	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Hőtágulási együttható	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Max. alkalmazási hőmérséklet	Oxid légkör	1600	°C
Max. alkalmazási hőmérséklet	Inert légkör	1950	°C

Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz alkalmazásai

ASzilícium-karbid kerámia villakar/kéznagy pontosságú, magas kockázatú és szennyeződésre érzékeny alkalmazásokhoz tervezték. Lehetővé teszi a kritikus alkatrészek megbízható kezelését, szállítását vagy támogatását nulla kompromisszummal.

➤ Félvezetőipar

Robotvillaként használják az elülső ostyaátviteli és FOUP állomásokon.
Vákuumkamrákba integrálva plazmamaratáshoz és PVD/CVD eljárásokhoz.
Méréstechnikai és wafer illesztő eszközökben hordozókarként funkcionál.

ASzilícium-karbid kerámia villakar/kézkiküszöböli az elektrosztatikus kisülés (ESD) kockázatát, támogatja a méretpontosságot, és ellenáll a plazmakorróziónak.

➤ Fotonika és optika

Támogatja a kényes lencséket, lézerkristályokat és érzékelőket gyártás vagy ellenőrzés közben.
Nagy merevsége megakadályozza a rezgést, míg a kerámia test ellenáll az optikai felületek szennyeződésének.

➤ Kijelző- és panelgyártás

Vékony üveg, OLED modulok és LCD aljzatok kezelésére alkalmas szállítás vagy ellenőrzés során.
A lapos és kémiailag inertSzilícium-karbid kerámia villakar/kézvéd a karcolásoktól vagy kémiai marástól.

➤ Repülőgépipar és tudományos műszerek

Műholdas optikai összeszerelésben, vákuumrobotikában és szinkrotron nyalábvonal-beállításokban használják.
Hibátlanul működik űrminőségű tisztaterekben és sugárzásnak kitett környezetben.

Minden egyes területen aSzilícium-karbid kerámia villakar/kéznöveli a rendszer hatékonyságát, csökkenti az alkatrészhibákat és minimalizálja az állásidőt.

GYIK – Gyakran ismételt kérdések a szilícium-karbid kerámia villakarral/kézzel kapcsolatban

1. kérdés: Mi teszi a szilícium-karbid kerámia villakart/fogantyút jobbá a fém alternatíváknál?

ASzilícium-karbid kerámia villakar/kézKiváló keménységgel, alacsonyabb sűrűséggel, jobb vegyi ellenállással és lényegesen kisebb hőtágulással rendelkezik, mint a fémek. Tisztatéri környezetben is használható, és mentes a korróziótól és a részecskeképződéstől.

2. kérdés: Kérhetek egyedi méreteket a szilícium-karbid kerámia villakaromhoz/kezemhez?

Igen. Teljes testreszabást kínálunk, beleértve a villa szélességét, vastagságát, rögzítőfuratait, kivágásait és felületkezeléseit. Akár 6", 8" vagy 12"-os ostyákról van szó, az Ön...villakar/kéztestreszabható.

3. kérdés: Mennyi ideig bírja a szilícium-karbid kerámia villás kar/kéz plazma vagy vákuum alatt?

A nagy sűrűségű SiC anyagnak és inert jellegének köszönhetően avillakar/kézTöbb ezer folyamatciklus után is működőképes marad. Agresszív plazma- vagy vákuumhőterhelés alatt is minimális kopást mutat.

4. kérdés: Alkalmas a termék ISO 1. osztályú tisztaterekben való használatra?

Abszolút. ASzilícium-karbid kerámia villakar/kéztanúsított tisztatéri létesítményekben gyártják és csomagolják, a részecskeszint jóval az ISO 1. osztályú követelmények alatt van.

5. kérdés: Mi a maximális üzemi hőmérséklete ennek a villakarnak/kéznek?

ASzilícium-karbid kerámia villakar/kézAkár 1500°C-on is folyamatosan működhet, így alkalmas közvetlen használatra magas hőmérsékletű folyamatkamrákban és termikus vákuumrendszerekben.

Ezek a GYIK a mérnökök, laborvezetők és rendszerintegrátorok leggyakoribb technikai kérdéseit tükrözik, akik a ...-t használják.Szilícium-karbid kerámia villakar/kéz.

Rólunk

Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.