Szilícium-karbid (SiC) kerámia lemez

Rövid leírás:

A szilícium-karbid (SiC) kerámialemezek nagy szilárdságú, nagy tisztaságú, fejlett kerámia alkatrészek, amelyeket kivételes hőstabilitást, mechanikai szilárdságot és vegyi ellenállást igénylő környezetekre terveztek. Kiváló keménységükkel, alacsony sűrűségükkel és kiváló hővezető képességükkel a SiC lemezeket széles körben használják félvezető-feldolgozásban, magas hőmérsékletű kemencékben, precíziós gépekben és korrozív ipari környezetben.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Részletes ábra

Termékáttekintés

Ezek a lemezek szélsőséges körülmények között is megőrzik szerkezeti integritásukat, így ideális anyagmegoldást jelentenek a következő generációs nagy teljesítményű berendezésekhez.

Főbb jellemzők és tulajdonságok

Nagy keménység és kopásállóság– Gyémánthoz hasonló, hosszú élettartamot biztosít.
Alacsony hőtágulás– Minimalizálja a deformációt gyors melegítés vagy hűtés során.
Magas hővezető képesség– Hatékony hőelvezetés hőszabályozó rendszerekhez.
Kiemelkedő kémiai stabilitás– Ellenáll savaknak, lúgoknak és plazma környezetnek.
Könnyű, mégis rendkívül erős– Magas szilárdság-tömeg arány a fémekhez képest.
Kiváló magas hőmérsékleti teljesítmény– Üzemi hőmérséklet akár 1600°C-ig (minőségtől függően).
Erős mechanikai merevség– Ideális a precíz alátámasztáshoz és a szerkezeti stabilitáshoz.

Gyártási módszer

A SiC kerámia lemezeket jellemzően az alábbi eljárások egyikével állítják elő:

• Reakciókötésű szilícium-karbid (RBSC / RBSiC)

Olvadt szilícium porózus SiC előformába történő beszivárgásával képződik
Nagy szilárdságú, jó megmunkálhatóságú és méretstabilitású
Nagyméretű lemezekhez alkalmas, amelyek pontos síkfelület-szabályozást igényelnek

• Szinterezett szilícium-karbid (SSiC)

Nagy tisztaságú SiC por nyomásmentes szinterezésével előállítva
Kiváló tisztaságot, szilárdságot és korrózióállóságot kínál
Ideális félvezető és vegyipari alkalmazásokhoz, amelyek rendkívül tiszta körülményeket igényelnek

• CVD szilícium-karbid (CVD-SiC)

Kémiai gőzfázisú leválasztási eljárás
Legmagasabb tisztaságú, rendkívül sűrű és ultrasima felület
Gyakori félvezető ostyahordozókban, szuszceptorokban és vákuumkamra alkatrészekben

Alkalmazások

A SiC kerámia lemezeket széles körben használják számos iparágban:

Félvezető és elektronika

Ostyatartó lemezek
Szuszceptorok
Diffúziós kemence alkatrészek
Maratás és leválasztó kamra alkatrészei

Magas hőmérsékletű kemence alkatrészek

Tartólemezek
kemencebútor
Fűtési rendszer szigetelése és védelme

Ipari berendezések

Mechanikus kopólemezek
Csúszópárnák
Szivattyú- és szelepalkatrészek
Kémiai korrózióálló lemezek

Repülés és védelem

Könnyű, nagy szilárdságú szerkezeti lemezek
Magas hőmérsékletű árnyékoló alkatrészek

Specifikációk és testreszabás

A SiC kerámia lapok egyedi rajzok szerint is gyárthatók:

• Méretek:
Vastagság: 0,5–30 mm
Max. oldalhossz: akár 600 mm (folyamattól függően változik)

• Tolerancia:
±0,01–0,05 mm a megmunkálási minőségtől függően

• Felületkezelés:

Köszörült / átfedett
Polírozott (Ra < 5 nm CVD-SiC esetén)
Szinterezett felület

• Anyagminőségek:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC

• Alakzatbeállítások:
Sík lemezek, négyzet alakú lemezek, kerek lemezek, réselt lemezek, perforált lemezek stb.

GYIK a kvarcüvegekről

1. kérdés: Mi a különbség az RBSiC és az SSiC lemezek között?

A:Az RBSiC jó mechanikai szilárdságot és költséghatékonyságot kínál, míg az SSiC nagyobb tisztasággal, jobb korrózióállósággal és nagyobb szilárdsággal rendelkezik. Az SSiC-t félvezető és vegyipari alkalmazásokhoz részesítik előnyben.

2. kérdés: Ellenállnak-e a SiC kerámia lapok a hősokknak?

A:Igen. A SiC alacsony hőtágulással és magas hővezető képességgel rendelkezik, ami kiváló hősokk-állóságot biztosít.

3. kérdés: Polírozhatók a lemezek tükörfelület-alkalmazásokhoz?

A:Igen. A CVD-SiC és a nagy tisztaságú SSiC tükörfényes polírozást biztosít optikai vagy félvezető gyártási követelményekhez.

4. kérdés: Támogatják az egyedi megmunkálást?

A:Igen. A lemezeket a rajzok szerint gyártjuk, beleértve a lyukakat, réseket, bemélyedéseket és speciális formákat.

Rólunk

Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.