Ultraprecíziós SiC légcsapágyas állvány

Ultraprecíziós SiC légcsapágyas asztal Kiemelt kép

Rövid leírás:

A félvezetőipar folyamatos fejlődésével a feldolgozó és ellenőrző berendezések egyre nagyobb teljesítményt igényelnek. A mozgásvezérlés és a nanométeres szintű pozicionálás terén szerzett széleskörű szakértelmünkre építve kifejlesztettünk egy síkbeli, H-típusú, kéttengelyes, ultraprecíziós, légcsapágyas állványt.

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

Részletes ábra

Áttekintés

A végeselemes módszerrel optimalizált szilícium-karbid (SiC) kerámia szerkezettel és kompenzált légcsapágy-technológiával tervezett tárgyasztal kiemelkedő pontosságot, merevséget és dinamikus válaszidőt biztosít. Ideális a következőkhöz:

Félvezető-feldolgozás és -ellenőrzés
Mikro/nano gyártás és méréstechnika
Nanométeres méretű légyvágás és polírozás
Nagy sebességű precíziós szkennelés

Főbb jellemzők

SiC légcsapágyas vezetőpályaa rendkívül nagy merevség és pontosság érdekében
Nagy dinamika: sebesség akár 1 m/s, gyorsulás akár 4 g, gyors ülepedés
Kettős hajtású portál Y-tengelynagy teherbírást és stabilitást biztosít
Kódoló opciókoptikai rács vagy lézerinterferométer
Pozicionálási pontosság±0,15 μm;ismételhetőség±75 nm
Optimalizált kábelvezetésa letisztult kialakítás és a hosszú távú megbízhatóság érdekében
Testreszabható konfigurációkalkalmazásspecifikus igényekhez

Ultraprecíziós kialakítás és közvetlen meghajtású, érintésmentes architektúra

SiC kerámia keret~5-szörös merevség az alumíniumötvözethez képest és ~5-szörösen alacsonyabb hőtágulás, ami nagy sebességű stabilitást és hőállóságot biztosít.
Kompenzált légcsapágyA szabadalmaztatott kialakítás fokozza a merevséget, a teherbírást és a mozgásstabilitást.
Dinamikus teljesítményTámogatja az 1 m/s sebességet és a 4 g gyorsulást, ideális nagy áteresztőképességű folyamatokhoz.
Zökkenőmentes integrációKompatibilis rezgésszigetelő rendszerekkel, forgóasztalokkal, billenő modulokkal és wafer kezelő platformokkal.
KábelrendezésA szabályozott hajlítási sugár minimalizálja a feszültséget a hosszabb élettartam érdekében.

Mag nélküli lineáris motor: Egyenletes mozgás nulla akadásmentes erővel.
Többmotoros hajtásA terhelési síkban elhelyezett motor javítja az egyenességet, a sík felületet és a szögpontosságot.
HőszigetelésA motorok el vannak szigetelve a színpad szerkezetétől; opcionális levegő- vagy vízhűtés a nagy igénybevételű ciklusokhoz.

Specifikációk

Modell	400-400	500-500	600-600
Fejszék	X (szkennelés) / Y (lépés)	X (szkennelés) / Y (lépés)	X (szkennelés) / Y (lépés)
Elmozdulás (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Pontosság (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Ismételhetőség (nm)	±75	±100	±100
Felbontás (nm)	0,3	0,3	0,3
Max. sebesség (m/s)	1	1	1
Gyorsulás (g)	4	4	4
Egyenesség (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitás (nm)	±5	±5	±5
Max. terhelés (kg)	20	20	20
Bólintás/Fordulás/Elfordulás (ívmásodperc)	±1	±1	±1

Tesztfeltételek:

Levegőellátás: tiszta, száraz; harmatpont ≤ 0°F; részecskeszűrés ≤ 0,25 μm; vagy 99,99% nitrogén.
A pontosság 25 mm-rel a tárgyasztal közepe felett mérve, 20±1 °C-on, 40–60% relatív páratartalom mellett.

Alkalmazások

Félvezető litográfia, ellenőrzés és ostyakezelés
Mikro/nano gyártás és precíziós méréstechnika
Csúcskategóriás optikagyártás és interferometria
Repülőgépészet és fejlett tudományos kutatás

GYIK – Szilícium-karbid légcsapágyas fokozat

1. Mi az a légcsapágyas színpad?

A légcsapágyas színpad egy vékony, sűrített levegőréteget használ a színpad és a vezetősín között, hogy biztosítsasúrlódásmentes, kopásmentes és rendkívül sima mozgásA hagyományos mechanikus csapágyakkal ellentétben kiküszöböli az akadozó csúszást, nanométeres pontosságot biztosít, és hosszú távú megbízhatóságot biztosít.

2. Miért használjunk szilícium-karbidot (SiC) a színpad szerkezetéhez?

Nagy merevség~5× az alumíniumötvözeté, minimalizálva a deformációt dinamikus mozgás közben.
Alacsony hőtágulás~5× alacsonyabb, mint az alumínium, így a pontosság hőmérséklet-változások mellett is megmarad.
KönnyűsúlyúAlacsonyabb sűrűség az acélhoz képest, ami lehetővé teszi a nagy sebességű és nagy gyorsulású működést.
Kiváló stabilitásKiváló csillapítás és merevség az ultraprecíz pozicionáláshoz.

3. Igényel-e kenést vagy karbantartást a színpad?

Nincs szükség hagyományos kenésre, mivel vannincs mechanikus érintkezésAz ajánlott karbantartás a következőket foglalja magában:

Ellátástiszta, száraz sűrített levegő vagy nitrogén
A szűrők és szárítók időszakos ellenőrzése
Felügyeleti kábelek és hűtőrendszerek

4. Milyen levegőellátási követelmények vannak?

Harmatpont: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Részecskeszűrés: ≤ 0,25 μm
Tiszta, száraz levegő vagy 99,99%-os tisztaságú nitrogén
Stabil nyomás minimális ingadozással

Rólunk

Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.