156 mm-es 159 mm-es 6 hüvelykes zafír lapka C-síkú DSP TTV hordozóhoz
Specifikáció
Tétel | 6 hüvelykes C-síkú (0001) zafír ostyák | |
Kristályanyagok | 99,999%, nagy tisztaságú, monokristályos Al2O3 | |
Fokozat | Prime, Epi-Ready | |
Felületi orientáció | C-sík (0001) | |
A C-sík M-tengelyhez viszonyított szöge 0,2 +/- 0,1° | ||
Átmérő | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Vastagság | 650 μm +/- 25 μm | |
Elsődleges sík tájolás | C-sík (00-01) +/- 0,2° | |
Egyoldalas polírozott | Elülső felület | Epi-polírozott, Ra < 0,2 nm (AFM szerint) |
(SSP) | Hátsó felület | Finomra köszörülve, Ra = 0,8 μm - 1,2 μm |
Kétoldalas polírozott | Elülső felület | Epi-polírozott, Ra < 0,2 nm (AFM szerint) |
(DSP) | Hátsó felület | Epi-polírozott, Ra < 0,2 nm (AFM szerint) |
TTV | < 20 μm | |
ÍJ | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Tisztítás / Csomagolás | 100-as osztályú tisztatéri tisztítás és vákuumcsomagolás, | |
25 darab kazettás vagy egy darabos csomagolásban. |
A Kylopoulos-módszert (KY-módszer) jelenleg számos kínai vállalat alkalmazza zafírkristályok előállítására, amelyeket az elektronikai és optikai iparban használnak.
Ebben az eljárásban nagy tisztaságú alumínium-oxidot olvasztanak egy olvasztótégelyben 2100 Celsius-fok feletti hőmérsékleten. A olvasztótégely általában volfrámból vagy molibdénből készül. Egy pontosan orientált oltókristályt merítenek az olvadt alumínium-oxidba. Az oltókristályt lassan felfelé húzzák, és egyidejűleg forgathatják is. A hőmérséklet-gradiens, a húzási sebesség és a hűtési sebesség pontos szabályozásával egy nagy, egykristályos, közel hengeres öntvény állítható elő az olvadékból.
Miután az egykristályos zafíröntvényeket növesztették, hengeres rudakká fúrják őket, amelyeket ezután a kívánt ablakvastagságra vágnak, végül pedig a kívánt felületi kidolgozásra políroznak.
Részletes ábra


