156 mm-es 159 mm-es 6 hüvelykes Sapphire Wafer hordozó C-Plane DSP TTV-hez
Specifikáció
Tétel | 6 hüvelykes C-plane(0001) zafír ostya | |
Kristály anyagok | 99,999%, nagy tisztaságú, monokristályos Al2O3 | |
Fokozat | Prime, Epi-Ready | |
Felületi tájolás | C-sík(0001) | |
C-sík eltolási szöge az M-tengely felé 0,2 +/- 0,1° | ||
Átmérő | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Vastagság | 650 μm +/- 25 μm | |
Elsődleges lapos tájolás | C-sík(00-01) +/- 0,2° | |
Egyoldali polírozott | Elülső felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
(SSP) | Hátsó felület | Finom köszörülés, Ra = 0,8-1,2 μm |
Kétoldalas polírozott | Elülső felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
(DSP) | Hátsó felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ÍJ | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Tisztítás / Csomagolás | 100. osztályú tisztatér tisztítás és vákuumcsomagolás, | |
25 darab egy kazettás csomagolásban vagy egy darabos csomagolásban. |
A Kylopoulos-módszert (KY-módszer) jelenleg számos kínai vállalat használja zafírkristályok előállítására az elektronikai és optikai iparban.
Ennek során a nagy tisztaságú alumínium-oxidot tégelyben 2100 Celsius fok feletti hőmérsékleten olvasztják meg. Általában az olvasztótégely wolframból vagy molibdénből készül. Egy pontosan orientált magkristályt merítenek az olvadt alumínium-oxidba. A magkristály lassan felfelé húzódik, és egyidejűleg forgatható. A hőmérséklet-gradiens, a húzási sebesség és a hűtési sebesség pontos szabályozásával az olvadékból nagyméretű, egykristályos, közel hengeres tömb állítható elő.
Az egykristály zafír tömbök növesztése után hengeres rudakká fúrják őket, amelyeket azután a kívánt ablakvastagságra vágnak, és végül a kívánt felületre polírozzák.