156 mm-es 159 mm-es 6 hüvelykes Sapphire Wafer hordozó C-Plane DSP TTV-hez
Leírás
| Tétel | 6 hüvelykes C-plane(0001) zafír ostya | |
| Kristály anyagok | 99,999%, nagy tisztaságú, monokristályos Al2O3 | |
| Fokozat | Prime, Epi-Ready | |
| Felületi tájolás | C-sík(0001) | |
| C-sík eltolási szöge az M-tengely felé 0,2 +/- 0,1° | ||
| Átmérő | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Vastagság | 650 μm +/- 25 μm | |
| Elsődleges lapos tájolás | C-sík(00-01) +/- 0,2° | |
| Egyoldali polírozott | Elülső felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
| (SSP) | Hátsó felület | Finom köszörülés, Ra = 0,8-1,2 μm |
| Kétoldalas polírozott | Elülső felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
| (DSP) | Hátsó felület | Epipolírozott, Ra < 0,2 nm (AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| ÍJ | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Tisztítás / Csomagolás | 100. osztályú tisztatér tisztítás és vákuumcsomagolás, | |
| 25 darab egy kazettás csomagolásban vagy egy darabos csomagolásban. | ||
A Kylopoulos-módszert (KY-módszer) jelenleg számos kínai vállalat használja zafírkristályok előállítására az elektronikai és optikai iparban.
Ennek során a nagy tisztaságú alumínium-oxidot tégelyben 2100 Celsius-fok feletti hőmérsékleten megolvasztják.Általában az olvasztótégely wolframból vagy molibdénből készül.Egy pontosan orientált magkristályt merítenek az olvadt alumínium-oxidba.A magkristály lassan felfelé húzódik, és egyidejűleg forgatható.A hőmérséklet-gradiens, a húzási sebesség és a hűtési sebesség pontos szabályozásával az olvadékból nagyméretű, egykristályos, közel hengeres tömb állítható elő.
Az egykristály zafír tömbök növesztése után hengeres rudakká fúrják őket, amelyeket azután a kívánt ablakvastagságra vágnak, és végül a kívánt felületre polírozzák.
Részletes diagram
