4 hüvelykes SiC ostyák 6H félig szigetelő SiC szubsztrátumok alapozott, kutatási és ál minőségű

Rövid leírás:

A félig szigetelt szilícium-karbid hordozót vágással, csiszolással, polírozással, tisztítással és egyéb feldolgozási technológiával alakítják ki a félig szigetelt szilícium-karbid kristály növekedése után. Az aljzatra epitaxiaként egy réteget vagy többrétegű kristályréteget nevelnek, amely megfelel a minőségi követelményeknek, majd az áramköri kialakítás és a csomagolás kombinálásával elkészítik a mikrohullámú RF készüléket. 2 hüvelykes 3 hüvelykes 4 hüvelykes 6 hüvelykes 8 hüvelykes ipari, kutatási és tesztminőségű félig szigetelt szilícium-karbid egykristály hordozóként kapható.


Termék részletek

Termékcímkék

Termékleírás

Fokozat

Nulla MPD gyártási fokozat (Z fokozat)

Szabványos gyártási fokozat (P fokozat)

Dummy Grade (D fokozat)

 
Átmérő 99,5 mm ~ 100,0 mm  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
Ostya orientáció  

 

Tengelyen kívül: 4,0° < 1120 > ±0,5° felé 4H-N esetén, Tengelyen: <0001>±0,5° 4H-SI esetén

 
  4H-SI

≤ 1 cm-2

≤5 cm-2

≤15 cm-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
Elsődleges lapos tájolás

{10-10} ±5,0°

 
Elsődleges lapos hossz 32,5 mm±2,0 mm  
Másodlagos lapos hossz 18,0 mm±2,0 mm  
Másodlagos lapos tájolás

Szilícium oldallal felfelé: 90° CW. alaplaptól ±5,0°

 
Élek kizárása

3 mm

 
LTV/TTV/Íj/Warp ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

Érdesség

C arc

    lengyel Ra≤1 nm

Si arc

CMP Ra≤0,2 nm    

Ra≤0,5 nm

Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására

Egyik sem

Összesített hossz ≤ 10 mm, egyszeres

hossza ≤2 mm

 
Hatlapú lemezek nagy intenzitású fénnyel Összesített terület ≤0,05% Összesített terület ≤0,1%  
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel

Egyik sem

Összesített terület ≤3%  
Vizuális szénzárványok Összesített terület ≤0,05% Összesített terület ≤3%  
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására  

Egyik sem

Összesített hossz≤1*ostya átmérő  
Edge Chips magas intenzitású fény Egyik sem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység 5 megengedett, egyenként ≤1 mm  
Nagy intenzitású szilícium felületi szennyeződés

Egyik sem

 
Csomagolás

Több ostya kazettás vagy egy ostya tartály

 

Részletes diagram

Részletes diagram (1)
Részletes diagram (2)

  • Előző:
  • Következő:

  • Írja ide üzenetét és küldje el nekünk