4 hüvelykes SiC lapkák 6H félig szigetelő SiC hordozókhoz, elsődleges, kutatási és próbaminőségű

Rövid leírás:

A félszigetelt szilícium-karbid hordozót vágással, csiszolással, polírozással, tisztítással és egyéb feldolgozási technológiával alakítják ki a félszigetelt szilícium-karbid kristály növesztése után. Az epitaxia minőségi követelményeinek megfelelő réteget vagy többrétegű kristályréteget növesztenek a hordozóra, majd az áramköri tervezés és a csomagolás kombinálásával elkészítik a mikrohullámú RF eszközt. Kapható 2 hüvelykes, 3 hüvelykes, 4 hüvelykes, 6 hüvelykes és 8 hüvelykes ipari, kutatási és tesztminőségű félszigetelt szilícium-karbid egykristályos hordozóként.


Termék részletei

Termékcímkék

Termékleírás

Fokozat

Nulla MPD gyártási fokozat (Z fokozat)

Standard gyártási osztály (P osztály)

Dummy fokozat (D fokozat)

 
Átmérő 99,5 mm~100,0 mm  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
Ostya orientáció  

 

Tengelyen kívül: 4,0° < 1120 > ±0,5° felé 4H-N esetén, Tengelyen belül: <0001> ±0,5° 4H-SI esetén

 
  4H-SI

≤1 cm-2

≤5 cm-2

≤15 cm-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
Elsődleges sík tájolás

{10-10} ±5,0°

 
Elsődleges sík hossza 32,5 mm±2,0 mm  
Másodlagos síkhossz 18,0 mm±2,0 mm  
Másodlagos sík tájolás

Szilikon felület felfelé: 90° óramutató járásával megegyező irányban az alaplaptól ±5,0°

 
Élkizárás

3 mm

 
LTV/TTV/Íj/Form ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

Érdesség

C-alakú

    lengyel Ra≤1 nm

Si arc

CMP Ra≤0,2 nm    

Ra≤0,5 nm

Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására

Egyik sem

Összesített hossz ≤ 10 mm, egyesével

hossz ≤2 mm

 
Hex lemezek nagy intenzitású fény segítségével Kumulált terület ≤0,05% Kumulált terület ≤0,1%  
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel

Egyik sem

Kumulált terület ≤3%  
Vizuális szénzárványok Kumulált terület ≤0,05% Összesített terület ≤3%  
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására  

Egyik sem

Összesített hossz ≤1*ostya átmérő  
Edge Chips High By Intensity Light Nem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység 5 megengedett, mindegyik ≤1 mm  
Szilícium felületi szennyeződése nagy intenzitású sugárzással

Egyik sem

 
Csomagolás

Több ostyás kazetta vagy egyetlen ostyatartály

 

Részletes ábra

Részletes ábra (1)
Részletes ábra (2)

  • Előző:
  • Következő:

  • Írd ide az üzenetedet, és küldd el nekünk