4 hüvelykes SiC lapkák 6H félig szigetelő SiC hordozókhoz, elsődleges, kutatási és próbaminőségű
Termékleírás
Fokozat | Nulla MPD gyártási fokozat (Z fokozat) | Standard gyártási osztály (P osztály) | Dummy fokozat (D fokozat) | ||||||||
Átmérő | 99,5 mm~100,0 mm | ||||||||||
4H-SI | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | |||||||||
Ostya orientáció |
Tengelyen kívül: 4,0° < 1120 > ±0,5° felé 4H-N esetén, Tengelyen belül: <0001> ±0,5° 4H-SI esetén | ||||||||||
4H-SI | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ||||||||
4H-SI | ≥1E9 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||||||||
Elsődleges sík tájolás | {10-10} ±5,0° | ||||||||||
Elsődleges sík hossza | 32,5 mm±2,0 mm | ||||||||||
Másodlagos síkhossz | 18,0 mm±2,0 mm | ||||||||||
Másodlagos sík tájolás | Szilikon felület felfelé: 90° óramutató járásával megegyező irányban az alaplaptól ±5,0° | ||||||||||
Élkizárás | 3 mm | ||||||||||
LTV/TTV/Íj/Form | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||||||||
Érdesség | C-alakú | lengyel | Ra≤1 nm | ||||||||
Si arc | CMP | Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||||||
Szélrepedések nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤ 10 mm, egyesével hossz ≤2 mm | |||||||||
Hex lemezek nagy intenzitású fény segítségével | Kumulált terület ≤0,05% | Kumulált terület ≤0,1% | |||||||||
Politípus területek nagy intenzitású fénnyel | Egyik sem | Kumulált terület ≤3% | |||||||||
Vizuális szénzárványok | Kumulált terület ≤0,05% | Összesített terület ≤3% | |||||||||
Szilikon felületi karcolások nagy intenzitású fény hatására | Egyik sem | Összesített hossz ≤1*ostya átmérő | |||||||||
Edge Chips High By Intensity Light | Nem megengedett ≥0,2 mm szélesség és mélység | 5 megengedett, mindegyik ≤1 mm | |||||||||
Szilícium felületi szennyeződése nagy intenzitású sugárzással | Egyik sem | ||||||||||
Csomagolás | Több ostyás kazetta vagy egyetlen ostyatartály |
Részletes ábra


Írd ide az üzenetedet, és küldd el nekünk