4 hüvelykes 6 hüvelykes lítium-niobát egykristály film LNOI ostya
Az LNOI anyagok előkészítési folyamata főként a következő négy lépésre oszlik
(1) Az X-metszetű lítium-niobát anyagba egy bizonyos energiával he-ionokat injektáltak, és a lítium-niobát felületi rétege alatt egy bizonyos mélységben juttatták be a hibarétegbe;
(2) Az ionokkal beültetett lítium-niobát anyagot oxidréteggel szilícium szubsztrátumhoz kötik, hogy kötőszerkezetet alakítsanak ki;
(3) A kötőszerkezetet hőkezelték, hogy a He-ion-beültetés által okozott hibák kifejlődjenek, és repedéseket képezzenek. Végül a lítium-niobátot a hibaréteg mentén elválasztottuk, hogy a maradék lítium-niobát szeleteket és LNOI szeleteket képezzenek.
Az LNOI szelet alkalmazásai és előnyei
1-- A lítium-niobát piezoelektromos fóliák (LNOI) magas piezoelektromos együtthatóval és dielektromos állandóval rendelkeznek, amelyek a mechanikai energiát elektromos energiává vagy az elektromos energiát mechanikai energiává alakíthatják. Ezért széles körben használják az érzékelők területén, például nyomásérzékelők, gyorsulásérzékelők, hőmérséklet-érzékelők és így tovább. Ezenkívül a lítium-niobát piezoelektromos film akusztikus eszközökben és vibrációs eszközökben is használható, például piezoelektromos kerámia átalakító komplex piezoelektromos kerámiaszűrőben.
2-A lítium-niobát piezoelektromos film stabilitása szintén az egyik előnye. Kristályszerkezetének stabilitása és kémiai tehetetlensége miatt a lítium-niobát piezoelektromos fólia magas hőmérsékleten, magas páratartalomban, erős savban, erős lúgban és más zord környezetben is működik, jó korrózióállósággal és tartóssággal.
A 3-lítium-niobát piezoelektromos fólia egy új piezoelektromos anyag, kiváló teljesítménnyel és stabilitással, és széles körű alkalmazási lehetőséggel rendelkezik. A tudomány és a technológia folyamatos fejlődésével a lítium-niobát piezoelektromos fóliát több városban alkalmazzák majd, ami több kényelmet és innovációt hoz az emberek életébe.