Ionsugaras polírozó gép zafír SiC Si-hez
Részletes ábra
Az ionsugaras polírozó gép termékáttekintése
Az ionsugaras képző és polírozó gép az ionporlasztás elvén működik. Egy nagyvákuumú kamrában egy ionforrás plazmát generál, amelyet nagy energiájú ionsugárrá gyorsítanak fel. Ez a sugár bombázza az optikai alkatrész felületét, atomi méretű anyagot távolítva el, így ultrapontos felületkorrekciót és -kidolgozást érve el.
Érintésmentes eljárásként az ionsugaras polírozás kiküszöböli a mechanikai feszültséget és elkerüli a felület alatti károsodást, így ideális nagy pontosságú optikák gyártásához, amelyeket csillagászatban, repülőgépiparban, félvezetőkben és fejlett kutatási alkalmazásokban használnak.
Az ionnyalábos polírozó gép működési elve
Iongeneráció
Inert gázt (pl. argont) vezetnek a vákuumkamrába, és elektromos kisüléssel ionizálják, így plazmát képeznek.
Gyorsulás és nyalábformálás
Az ionokat több száz vagy ezer elektronvoltra (eV) gyorsítják, és stabil, fókuszált nyalábfolttá alakítják.
Anyageltávolítás
Az ionsugár fizikailag porlasztja le az atomokat a felületről kémiai reakciók beindítása nélkül.
Hibaészlelés és útvonaltervezés
A felületi alakzat eltéréseit interferometriával mérik. Eltávolítási függvényeket alkalmaznak a várakozási idők meghatározására és az optimalizált szerszámpályák létrehozására.
Zárt hurkú korrekció
Az iteratív feldolgozási és mérési ciklusok addig folytatódnak, amíg az RMS/PV pontossági célértékeket el nem érik.
Az ionsugaras polírozó gép főbb jellemzői
Univerzális felületkompatibilitás– Sík, gömb alakú, aszférikus és szabad formájú felületek feldolgozására alkalmas
Ultrastabil eltávolítási arány– Lehetővé teszi a nanométer alatti értékek korrekcióját
Sérülésmentes feldolgozás– Nincsenek felszín alatti hibák vagy szerkezeti változások
Állandó teljesítmény– Különböző keménységű anyagokon egyformán jól működik
Alacsony/közepes frekvenciakorrekció– Kiküszöböli a hibákat közép-/magasfrekvenciás műtermékek generálása nélkül
Alacsony karbantartási igény– Hosszú, folyamatos üzem minimális állásidővel
Az ionsugaras polírozó gép főbb műszaki adatai
| Tétel | Specifikáció |
| Feldolgozási módszer | Ionporlasztás nagyvákuumú környezetben |
| Feldolgozási típus | Érintésmentes felületformázás és polírozás |
| Max. munkadarab mérete | Φ4000 mm |
| Mozgástengelyek | 3 tengelyes / 5 tengelyes |
| Eltávolítási stabilitás | ≥95% |
| Felületi pontosság | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipikus RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| Frekvenciakorrekciós képesség | Eltávolítja az alacsony-közepes frekvenciájú hibákat közép-/magasfrekvenciás hibák bevezetése nélkül |
| Folyamatos működés | 3–5 hét porszívókarbantartás nélkül |
| Karbantartási költség | Alacsony |
Az ionsugaras polírozó gép feldolgozási képességei
Támogatott felülettípusok
Egyszerű: Lapos, gömb alakú, prizmás
Komplex: Szimmetrikus/aszimmetrikus aszférikus, tengelyen kívüli aszférikus, hengeres
Speciális: Ultravékony optika, lamellás optika, félgömb alakú optika, konformális optika, fázislemezek, szabadformájú felületek
Támogatott anyagok
Optikai üveg: kvarc, mikrokristályos, K9 stb.
Infravörös anyagok: szilícium, germánium stb.
Fémek: alumínium, rozsdamentes acél, titánötvözet stb.
Kristályok: YAG, egykristályos szilícium-karbid stb.
Kemény/törékeny anyagok: szilícium-karbid stb.
Felületi minőség / Pontosság
PV < 10 nm
RMS ≤ 0,5 nm
Ionsugaras polírozó gép feldolgozási esettanulmányai
1. eset – Standard síktükör
Munkadarab: D630 mm kvarc sík
Eredmény: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
2. eset – Röntgenfényvisszaverő tükör
Munkadarab: 150 × 30 mm-es szilikon lapos
Eredmény: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Meredekség 0,13 µrad
3. eset – Tengelyen kívüli tükör
Munkadarab: D326 mm-es tengelyen kívüli csiszolt tükör
Eredmény: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
GYIK a kvarcüvegekről
GYIK – Ionsugaras polírozó gép
1. kérdés: Mi az ionsugaras polírozás?
A1:Az ionsugaras polírozás egy érintésmentes eljárás, amely fókuszált ionsugarat (például argonionokat) használ az anyag eltávolítására a munkadarab felületéről. Az ionokat felgyorsítják és a felület felé irányítják, ami atomi szintű anyageltávolítást eredményez, így ultrasima felületet eredményez. Ez az eljárás kiküszöböli a mechanikai feszültséget és a felület alatti károsodást, így ideális precíziós optikai alkatrészekhez.
2. kérdés: Milyen típusú felületeket tud megmunkálni az ionsugaras polírozógép?
A2:AIonsugaras polírozó gépkülönféle felületeket képes megmunkálni, beleértve az egyszerű optikai alkatrészeket is, mint példáulsíkok, gömbök és prizmákvalamint összetett geometriák, mint példáulaszférikus, tengelyen kívüli aszférikusok, ésszabad formájú felületekKülönösen hatékony olyan anyagokon, mint az optikai üveg, az infravörös optika, a fémek és a kemény/törékeny anyagok.
3. kérdés: Milyen anyagokkal tud dolgozni az ionsugaras polírozógép?
A3:AIonsugaras polírozó gépszéleskörű anyagok polírozására alkalmas, beleértve:
-
Optikai üvegKvarc, mikrokristályos, K9 stb.
-
Infravörös anyagokSzilícium, germánium stb.
-
Fémek: Alumínium, rozsdamentes acél, titánötvözet stb.
-
Kristályos anyagokYAG, egykristályos szilícium-karbid stb.
-
Egyéb kemény/törékeny anyagokSzilícium-karbid stb.
Rólunk
Az XKH speciális optikai üvegek és új kristályanyagok high-tech fejlesztésére, gyártására és értékesítésére specializálódott. Termékeink az optikai elektronikát, a szórakoztató elektronikát és a katonai ipart szolgálják ki. Zafír optikai alkatrészeket, mobiltelefon-lencsevédőket, kerámiákat, LT-t, szilícium-karbid SIC-t, kvarcot és félvezető kristálylapokat kínálunk. Szakképzett szakértelmünkkel és élvonalbeli berendezéseinkkel kiválóan teljesítünk a nem szabványos termékfeldolgozásban, és célunk, hogy vezető optoelektronikai anyagokat gyártó high-tech vállalattá váljunk.
