6 hüvelykes N-típusú vagy P-típusú szilícium ostya CZ Si ostya
Ostyadoboz bevezetése
A szilícium ostya specifikációi:
6 hüvelykes szilícium ostya növekedése: CZ, MCZ, FZ.
6 szilícium ostya minőség: Prime, Test, Dummy stb.
6 hüvelykes szilíciumlap átmérője: 6 hüvelyk/150 mm.
6 hüvelykes szilíciumlap vastagsága: 200~3000µm.
6 hüvelykes szilícium ostya felület: vágott, leppelt, maratott, SSP, DSP stb.
6 hüvelykes szilíciumlapka orientációja: (100) (111) (110) (531) (553) stb.
6 hüvelykes szilícium ostya vágási dőlésszög: akár 4 fok.
6 hüvelykes szilícium ostya típusa/adalékanyag: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, belső。
6 hüvelykes szilícium ostya ellenállása: CZ/MCZ: 0,001 és 1000 ohm-cm között. FZ: akár 20k ohm-cm.
6 hüvelykes szilícium ostya vékonyrétegek: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. stb., Bevonatvastagság akár 20.000A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: Oxid, nitrid, SiC stb., Bevonatvastagság akár 200.000A/3%.
(c) Szilícium epitaxiális ostyák és epitaxiális szolgáltatások (SOS, GaN, GOI stb.).
6 hüvelykes szilícium ostya eljárások: a.DSP, ultravékony, ultralapos stb.
b.Méretcsökkentés, visszacsiszolás, kockázás stb. c. MEMS.
2010 óta a Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd. elkötelezett amellett, hogy átfogó, 4 hüvelykes szilícium-lapka szeletek megoldásait nyújtsa ügyfeleinek, a hibakereső szintű Dummy Wafer szeletektől a teszt szintű Test Wafer szeleteken át a termék szintű Prime Wafer szeletekig, valamint speciális szeleteket, oxid szeleteket (Oxid), nitrid szeleteket (Si3N4), alumíniummal bevont szeleteket, rézzel bevont szilícium szeleteket, SOI szeleteket, MEMS üveg szeleteket, egyedi ultravastag és ultralapos szeleteket stb., 50 mm-től 300 mm-ig terjedő méretekben, és félvezető szeleteket is tudunk biztosítani egyoldalas/kétoldalas polírozással, vékonyítással, kockázással, MEMS és egyéb feldolgozási és testreszabási szolgáltatásokkal.
Részletes ábra


