8 hüvelykes szilíciumlapka P/N típusú (100) 1-100Ω ál-regeneráló szubsztrát
Ostyadoboz bevezetése
A 8 hüvelykes szilíciumlap egy gyakran használt szilícium hordozóanyag, és széles körben alkalmazzák az integrált áramkörök gyártási folyamatában. Az ilyen szilíciumlapokat általában különféle integrált áramkörök, többek között mikroprocesszorok, memóriachipek, érzékelők és más elektronikus eszközök gyártásához használják. A 8 hüvelykes szilíciumlapokat általában viszonylag nagy méretű chipek gyártására használják, amelyek előnyei közé tartozik a nagyobb felület és az a képesség, hogy egyetlen szilíciumlapon több chipet lehet előállítani, ami a termelési hatékonyság növekedéséhez vezet. A 8 hüvelykes szilíciumlap jó mechanikai és kémiai tulajdonságokkal is rendelkezik, ami alkalmas nagyméretű integrált áramkörök gyártására.
Termékjellemzők
8"-os P/N típusú, polírozott szilícium lapka (25 db)
Tájolás: 200
Ellenállás: 0,1 - 40 ohm•cm (tételenként változhat)
Vastagság: 725+/-20µm
Prime/Monitor/Teszt fokozat
ANYAGTULAJDONSÁGOK
Paraméter | Jellegzetes |
Típus/Adalékanyag | P, Bór-N, Foszfor-N, Antimon-N, Arzén |
Tájolások | <100>, <111> szeletelési irányok az ügyfél specifikációi szerint |
Oxigéntartalom | 1019ppmA Egyedi tűrések az ügyfél specifikációja szerint |
Széntartalom | < 0,6 ppmA |
MECHANIKAI TULAJDONSÁGOK
Paraméter | Elsődleges | Monitor/Teszt A | Teszt |
Átmérő | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Vastagság | 725±20µm (standard) | 725±25µm (standard) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Íj | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Betakar | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Élkerekítés | FÉLIZIKUS | ||
Jelzés | Csak elsődleges féllakásos, félig standard lakások Jeida lakás, Notch |
Paraméter | Elsődleges | Monitor/Teszt A | Teszt |
Elülső oldal kritériumai | |||
Felületi állapot | Kémiai mechanikai polírozás | Kémiai mechanikai polírozás | Kémiai mechanikai polírozás |
Felületi érdesség | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Szennyeződés Részecskék @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Köd, gödrök Narancshéj | Egyik sem | Egyik sem | Egyik sem |
Fűrész, jelek Csíkosodások | Egyik sem | Egyik sem | Egyik sem |
Hátoldali kritériumok | |||
Repedések, szarkalábak, fűrésznyomok, foltok | Egyik sem | Egyik sem | Egyik sem |
Felületi állapot | Maratott maratás |
Részletes ábra


